Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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5.4 Untersuchungen zur Schichtstruk<strong>tu</strong>r <strong>de</strong>r aufgedampften Aluminiumschicht_____________Seite 81<br />
Abb. 5-11: TEM-Aufnahmen einer von BoPP-Folie abgelösten Aluminiumschicht;<br />
Ubeschl.: 120kV, Kameralänge bei <strong>de</strong>n Beugungsbil<strong>de</strong>rn: 60 cm<br />
oben: Hellfeld<br />
links unten: Beugungsbild <strong>de</strong>s gesamten Hellfeldbil<strong>de</strong>s<br />
rechts unten: Beugungsbild eines einzelnen Kristalls (Zonenachse [1,1,0]) aus<br />
<strong>de</strong>m Verbund<br />
In <strong>de</strong>r Hellfeldaufnahme sind <strong>de</strong>utlich eine Vielzahl von hellen und dunklen kantigen<br />
Struk<strong>tu</strong>ren zu erkennen. Verkippt man die Probe, dunkeln zunächst helle Bereich ab,<br />
während an<strong>de</strong>re dafür neu erscheinen. Fährt man so einen großen Winkelbereich ab,<br />
zeigt sich, dass die Schichten vollkommen geschlossen sind und die<br />
Helligkeitsunterschie<strong>de</strong> nur auf die unterschiedliche Orientierung <strong>de</strong>r einzelnen<br />
Struk<strong>tu</strong>ren und die dadurch verursachte unterschiedlich starke Beugung <strong>de</strong>s<br />
Elektronenstrahls zurückzuführen sind. Die Größe <strong>de</strong>r Struk<strong>tu</strong>ren streut mit Werten<br />
zwischen 12 nm und 100 nm recht stark. Im Mittel liegt sie jedoch bei etwa<br />
47,<br />
7 ± 8,<br />
6 nm und stimmt damit recht gut mit <strong>de</strong>m im AFM gefun<strong>de</strong>nen Wert für<br />
solche Schicht (S6) überein.<br />
Mit Hilfe <strong>de</strong>r Feldselektorblen<strong>de</strong> <strong>de</strong>s TEM wur<strong>de</strong> eine einzelne Struk<strong>tu</strong>r herausgegriffen<br />
und durchstrahlt. Das sich ergeben<strong>de</strong> Beugungsbild ist in Abb. 5-11 unten rechts