Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

5.4 Untersuchungen zur Schichtstruktur der aufgedampften Aluminiumschicht_____________Seite 81
Abb. 5-11: TEM-Aufnahmen einer von BoPP-Folie abgelösten Aluminiumschicht;
Ubeschl.: 120kV, Kameralänge bei den Beugungsbildern: 60 cm
oben: Hellfeld
links unten: Beugungsbild des gesamten Hellfeldbildes
rechts unten: Beugungsbild eines einzelnen Kristalls (Zonenachse [1,1,0]) aus
dem Verbund
In der Hellfeldaufnahme sind deutlich eine Vielzahl von hellen und dunklen kantigen
Strukturen zu erkennen. Verkippt man die Probe, dunkeln zunächst helle Bereich ab,
während andere dafür neu erscheinen. Fährt man so einen großen Winkelbereich ab,
zeigt sich, dass die Schichten vollkommen geschlossen sind und die
Helligkeitsunterschiede nur auf die unterschiedliche Orientierung der einzelnen
Strukturen und die dadurch verursachte unterschiedlich starke Beugung des
Elektronenstrahls zurückzuführen sind. Die Größe der Strukturen streut mit Werten
zwischen 12 nm und 100 nm recht stark. Im Mittel liegt sie jedoch bei etwa
47,
7 ± 8,
6 nm und stimmt damit recht gut mit dem im AFM gefundenen Wert für
solche Schicht (S6) überein.
Mit Hilfe der Feldselektorblende des TEM wurde eine einzelne Struktur herausgegriffen
und durchstrahlt. Das sich ergebende Beugungsbild ist in Abb. 5-11 unten rechts