Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Die Rauigkeit der aufgedampften Schichten hängt somit hauptsächlich von der
Verdampfungsrate des Aluminiums ab und steigt in etwa linear mit dieser an. Der
Einfluss der Vorbehandlung sowie die Abscheiderate üben hingegen einen geringeren
Einfluss auf die Rauigkeit der Schicht aus.
Ergebnisse Experimentelle 80____________________________________________________5 Seite
5.4.2 Strukturuntersuchungen im Transmissionselektronenmikroskop
(TEM)
Um zu überprüfen, ob die mittels AFM bestimmten Korngrößen realistisch sind, wurden
Vergleichuntersuchungen von Proben entsprechender Muster im
Transmissionselektronenmikroskop durchgeführt. Dazu wurde die BoPP-Folie in
heißem Toluol aufgelöst. Die in der Lösung schwimmenden Al-Flitter wurden
abpipettiert und auf TEM-Netzchen mit hydrophilisierten Kohlefilmen übertragen. Eine
weitere Präparation war nicht notwendig, da die Al-Schichten dünn genug sind, um
direkt durchstrahlt werden zu können. An ausgewählten Mustern wurde die
Schichtstruktur, die Korngröße und eine mögliche durch die Substratfolie verursachte
Vorzugsorientierung der Al-Kristallite untersucht. Des Weiteren wurde nach Defekten in
der aufgedampften Schicht gesucht. Trotz intensiver Suche konnten jedoch keine
Defekte in Form von Löchern in der Al-Schicht im TEM nachgewiesen werden. Da die
auf den Netzchen aufgebrachten Aluminiumflitter jedoch nur wenige 100 µm groß sind,
könnten die Defekte, als schwächste Punkte in der aufgedampften Schicht, als
Startpunkte für das Auseinanderfallen der Schicht gedient haben. In diesem Fall würde
man somit auch keine Defekte finden können, da diese dann einen Teil des Randes des
Flitters darstellen. Eine solche Argumentation wird von den Beobachtungen von Kessler
[79] unterstützt. Dieser fand bei SiOx bedampften Folien ebenfalls keine eindeutig
nachzuweisenden Defekte im Mikrometerbereich mittels Transmissionselektronenmikroskop.
Lediglich große abgeplatzte Bereiche von mehreren hundert
Mikrometern Größe konnten so nachgewiesen werden. Generell scheint sich Das TEM
nicht zur Analyse von Defekten zu eignen. Vielmehr wurde sie hier eingesetzt, um die
AFM Messungen validieren zu können. In Abb. 5-11 sind an einem Muster der Probe S6
(optische Dichte 3,0, plasmavorbehandelt) exemplarisch die durchgeführten
Untersuchungen dargestellt.