Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

5.4 Untersuchungen zur Schichtstruktur der aufgedampften Aluminiumschicht_____________Seite 79
Abb. 5-10: Verlauf der arithmetischen Rauigkeit
verschiedene bedampfte BoPP-Folien
Ra
Abhängigkeit der optischen Dichte für
in
Korreliert man die Rauigkeit der bei ähnlichen Prozessparametern aufgedampften
Schichten mit der optischen Dichte, zeigt sich ein überraschender Zusammenhang; siehe
Abb. 5-10. Für den Fall der Erhöhung der optischen Dichte durch Vergrößerung der
Al-Drahtzuführungsrate steigt die Rauigkeit in guter Näherung mit steigender optischer
Dichte, das heißt Schichtdicke, linear an. Dies korreliert gut mit den
Korngrößenmessungen. Dabei spielt es nur eine geringe Rolle, ob die Substratfolie
vorbehandelt wurde oder nicht. So erweist sich die Korrelation im Fall der
plasmavorbehandelten Muster als etwas schlechter. Die Variation der optischen Dichte
unter Verwendung unterschiedlicher Wickelgeschwindigkeiten zeigt dagegen sowohl
für die plasmavorbehandelten als auch die nichtvorbehandelten Muster keinen klaren
Ra
Zusammenhang. Es scheint jedoch, dass die Rauigkeit für dünnere Schichten etwas
niedriger ist. Denkbar ist hier, dass die Rauigkeit stärker durch die Aufdampfrate als
durch die Wickelgeschwindigkeit beeinflusst wird. Für diese Argumentation spricht
auch, dass die Proben während des Bedampfens nur kurze Zeit den hohen Temperaturen
im Prozessraum ausgesetzt sind und so nur eine kurzzeitige Oberflächenmobilität
aufweisen. Das Wachstum der abgeschiedenen Aluminiumcluster auf der
Folienoberfläche ist dementsprechend gering.