Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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5.4 Untersuchungen zur Schichtstruk<strong>tu</strong>r <strong>de</strong>r aufgedampften Aluminiumschicht_____________Seite 79<br />
Abb. 5-10: Verlauf <strong>de</strong>r arithmetischen Rauigkeit<br />
verschie<strong>de</strong>ne bedampfte BoPP-Folien<br />
Ra<br />
Abhängigkeit <strong>de</strong>r optischen Dichte für<br />
in<br />
Korreliert man die Rauigkeit <strong>de</strong>r bei ähnlichen Prozessparametern aufgedampften<br />
Schichten mit <strong>de</strong>r optischen Dichte, zeigt sich ein überraschen<strong>de</strong>r Zusammenhang; siehe<br />
Abb. 5-10. Für <strong>de</strong>n Fall <strong>de</strong>r Erhöhung <strong>de</strong>r optischen Dichte durch Vergrößerung <strong>de</strong>r<br />
Al-Drahtzuführungsrate steigt die Rauigkeit in guter Näherung mit steigen<strong>de</strong>r optischer<br />
Dichte, das heißt Schichtdicke, linear an. Dies korreliert gut mit <strong>de</strong>n<br />
Korngrößenmessungen. Dabei spielt es nur eine geringe Rolle, ob die Substratfolie<br />
vorbehan<strong>de</strong>lt wur<strong>de</strong> o<strong>de</strong>r nicht. So erweist sich die Korrelation im Fall <strong>de</strong>r<br />
plasmavorbehan<strong>de</strong>lten Muster als etwas schlechter. Die Variation <strong>de</strong>r optischen Dichte<br />
unter Verwendung unterschiedlicher Wickelgeschwindigkeiten zeigt dagegen sowohl<br />
für die plasmavorbehan<strong>de</strong>lten als auch die nichtvorbehan<strong>de</strong>lten Muster keinen klaren<br />
Ra<br />
Zusammenhang. Es scheint jedoch, dass die Rauigkeit für dünnere Schichten etwas<br />
niedriger ist. Denkbar ist hier, dass die Rauigkeit stärker durch die Aufdampfrate als<br />
durch die Wickelgeschwindigkeit beeinflusst wird. Für diese Argumentation spricht<br />
auch, dass die Proben während <strong>de</strong>s Bedampfens nur kurze Zeit <strong>de</strong>n hohen Tempera<strong>tu</strong>ren<br />
im Prozessraum ausgesetzt sind und so nur eine kurzzeitige Oberflächenmobilität<br />
aufweisen. Das Wachs<strong>tu</strong>m <strong>de</strong>r abgeschie<strong>de</strong>nen Aluminiumcluster auf <strong>de</strong>r<br />
Folienoberfläche ist <strong>de</strong>mentsprechend gering.