Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Seite 78____________________________________________________5 Experimentelle Ergebnisse<br />
Abb. 5-9:<br />
AFM-Messungen <strong>de</strong>r Rauigkeit<br />
Probenbezeichnung nach Tab. 5-2<br />
Ra<br />
bedampfter BoPP-Folien;<br />
unterschiedlich<br />
Der Vergleich mit <strong>de</strong>n jeweiligen Prozessparametern dieser Muster zeigt, dass bei<br />
Vergrößerung <strong>de</strong>r Verdampfungsrate (Rate <strong>de</strong>r Aluminiumdrahtzuführung) eine<br />
Zunahme <strong>de</strong>r Rauigkeit in Abhängigkeit <strong>de</strong>r optischen Dichte festzustellen ist. Wird die<br />
optischen Dichte hingegen bei hohen Aufdampfraten über die Wickelgeschwindigkeit<br />
<strong>de</strong>r Bedampfungsanlage eingestellt, so ist dieser Anstieg <strong>de</strong>utlich schwächer ausgeprägt<br />
und es treten generell höhere Rauigkeitswerte auf. Folien, die ohne Vorbehandlung<br />
bedampft wur<strong>de</strong>n, weisen eine geringere Rauigkeit auf, als solche, die bei sonst gleichen<br />
Aufdampfbedingungen mit einem Ar/O2-Plasma vorbehan<strong>de</strong>lt wur<strong>de</strong>n. In <strong>de</strong>r Litera<strong>tu</strong>r<br />
wer<strong>de</strong>n sowohl eine Aufrauung <strong>de</strong>r Probenoberfläche [150,151] als auch eine Glät<strong>tu</strong>ng<br />
[152,153] <strong>de</strong>rselben durch die Vorbehandlung beschrieben. Im vorliegen<strong>de</strong>n Fall führte<br />
die Plasmavorbehandlung zu einer Erhöhung <strong>de</strong>r Rauigkeit.