Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
5.4.1.1 Untersuchungen zur Topographie und Korngröße <strong>de</strong>r aufgedampften<br />
Schichten<br />
75 Aluminiumschicht_____________Seite aufgedampften <strong>de</strong>r Schichtstruk<strong>tu</strong>r zur Untersuchungen 5.4<br />
Die AFM-Bil<strong>de</strong>r <strong>de</strong>r bedampften Polymerfolien wiesen einige charakteristische<br />
Eigenschaften auf. So zeigte sich für alle untersuchten Muster eine struk<strong>tu</strong>rierte<br />
Oberfläche. Der Durchmesser <strong>de</strong>r beobachteten Erhebungen variierte dabei je nach<br />
Herstellungsbedingungen <strong>de</strong>r Muster im Mittel zwischen circa 30 nm und etwa 50 nm.<br />
Die um die Probenkrümmung korrigierten Höhenunterschie<strong>de</strong> betrugen dabei wenige<br />
Nanometer. Da <strong>de</strong>r Scanbereich im Mikrometerbereich, die Höhenskala aber im<br />
Nanometerbereich liegt, ist die Schicht daher nur scheinbar <strong>de</strong>utlich struk<strong>tu</strong>riert und rau.<br />
Dass die beobachteten Struk<strong>tu</strong>ren nicht durch die Substratfolie verursacht wer<strong>de</strong>n, zeigt<br />
<strong>de</strong>r Vergleich mit einer unbedampften BoPP-Folie.<br />
Abb. 5-6:<br />
Contact mo<strong>de</strong> Scan <strong>de</strong>r unbedampften BoPP-Substratfolie;<br />
4,85 nm<br />
=<br />
Es lässt sich die für orientierte Polymere typische Topographie erkennen. Sie ist geprägt<br />
durch längliche gerichtete Struk<strong>tu</strong>ren, die auf <strong>de</strong>n Orientierungsprozess bei <strong>de</strong>r<br />
Folienherstellung zurückzuführen sind. Die Struk<strong>tu</strong>ren, wie sie in <strong>de</strong>n folgen<strong>de</strong>n bei<strong>de</strong>n<br />
Abbildungen 5-7 und 5-8 zu sehen sind, stellen Aluminiumkristallite dar, wie die<br />
Referenzuntersuchungen im Transmissionelektronenmikroskop belegen (siehe<br />
Abschn. 5.4.2, S. 80f.). Anhand dieser Abbildungen lässt sich auch <strong>de</strong>r Einfluss <strong>de</strong>r<br />
Vorbehandlung und <strong>de</strong>r Aufdampfparameter auf die Schichtstruk<strong>tu</strong>r erläutern.<br />
Ra