Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

5.4.1.1 Untersuchungen zur Topographie und Korngröße der aufgedampften
Schichten
75 Aluminiumschicht_____________Seite aufgedampften der Schichtstruktur zur Untersuchungen 5.4
Die AFM-Bilder der bedampften Polymerfolien wiesen einige charakteristische
Eigenschaften auf. So zeigte sich für alle untersuchten Muster eine strukturierte
Oberfläche. Der Durchmesser der beobachteten Erhebungen variierte dabei je nach
Herstellungsbedingungen der Muster im Mittel zwischen circa 30 nm und etwa 50 nm.
Die um die Probenkrümmung korrigierten Höhenunterschiede betrugen dabei wenige
Nanometer. Da der Scanbereich im Mikrometerbereich, die Höhenskala aber im
Nanometerbereich liegt, ist die Schicht daher nur scheinbar deutlich strukturiert und rau.
Dass die beobachteten Strukturen nicht durch die Substratfolie verursacht werden, zeigt
der Vergleich mit einer unbedampften BoPP-Folie.
Abb. 5-6:
Contact mode Scan der unbedampften BoPP-Substratfolie;
4,85 nm
=
Es lässt sich die für orientierte Polymere typische Topographie erkennen. Sie ist geprägt
durch längliche gerichtete Strukturen, die auf den Orientierungsprozess bei der
Folienherstellung zurückzuführen sind. Die Strukturen, wie sie in den folgenden beiden
Abbildungen 5-7 und 5-8 zu sehen sind, stellen Aluminiumkristallite dar, wie die
Referenzuntersuchungen im Transmissionelektronenmikroskop belegen (siehe
Abschn. 5.4.2, S. 80f.). Anhand dieser Abbildungen lässt sich auch der Einfluss der
Vorbehandlung und der Aufdampfparameter auf die Schichtstruktur erläutern.
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