Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Experimentelle Ergebnisse 66____________________________________________________5 Seite<br />
Abb. 5-2: Bezogene O2-Durchlässigkeit von industriell mit Aluminium bedampften 17 µm<br />
dicken BoPP-Folien;<br />
Q0,O2=1794 cm3(STP)/(m2·Tag·bar), gemessen bei 23°C und 50% rel. Feuchte,<br />
Q0,H2O=1,3 g/(m2·Tag), gemessen bei 23°C und 85%->0% rel. Feuchtegradienten;<br />
oben: Al-Drahtzuführungsvariation, O2- und H2O-Permeationswerte,<br />
unten: Wickelgeschwindigkeitsvariation, O2- und H2O-Permeationswerte<br />
Vergleicht man bei<strong>de</strong> Kurven miteinan<strong>de</strong>r, so weisen die Bedampfungen bei Än<strong>de</strong>rung<br />
<strong>de</strong>r Wickelgeschwindigkeit geringere Sauerstoffdurchlässigkeitswerte als die durch<br />
Variation <strong>de</strong>r Aufdampfrate hergestellten Schichten gleicher Dicke auf. Offenbar führt<br />
die Wahl hoher Verdampfungsraten und großer Wickelgeschwindigkeiten zu besseren<br />
Barriereschichten. Als ursächlich hierfür könnte <strong>de</strong>r durch die hohen<br />
Al-Verdampfungsraten relativ niedrige Wasserdampfpartialdruck in <strong>de</strong>r Prozesskammer<br />
sein. Dementsprechend ist damit auch die Bildung und <strong>de</strong>r Einbau von amorphem<br />
Aluminiumhydroxid in die Schicht unwahrscheinlicher. Da amorphes Alx(OH)y im<br />
Vergleich zu Aluminium und Aluminiumoxid <strong>de</strong>utlich permeabler ist, können durch<br />
hohe Verdampfungsraten bessere Barrierewerte erzielt wer<strong>de</strong>n. Ein weiterer Grund kann<br />
ein Einfluss <strong>de</strong>s Restgasdrucks auf die Korngröße sein, wie er von Brown [146]<br />
beschrieben wird. Der Autor fand, dass bei höherem Restgasdruck in <strong>de</strong>r<br />
Prozesskammer kleinere Aluminiumkristallite gebil<strong>de</strong>t wer<strong>de</strong>n. Da in diesem Fall eine