Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

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Experimentelle Ergebnisse 66____________________________________________________5 Seite
Abb. 5-2: Bezogene O2-Durchlässigkeit von industriell mit Aluminium bedampften 17 µm
dicken BoPP-Folien;
Q0,O2=1794 cm3(STP)/(m2·Tag·bar), gemessen bei 23°C und 50% rel. Feuchte,
Q0,H2O=1,3 g/(m2·Tag), gemessen bei 23°C und 85%->0% rel. Feuchtegradienten;
oben: Al-Drahtzuführungsvariation, O2- und H2O-Permeationswerte,
unten: Wickelgeschwindigkeitsvariation, O2- und H2O-Permeationswerte
Vergleicht man beide Kurven miteinander, so weisen die Bedampfungen bei Änderung
der Wickelgeschwindigkeit geringere Sauerstoffdurchlässigkeitswerte als die durch
Variation der Aufdampfrate hergestellten Schichten gleicher Dicke auf. Offenbar führt
die Wahl hoher Verdampfungsraten und großer Wickelgeschwindigkeiten zu besseren
Barriereschichten. Als ursächlich hierfür könnte der durch die hohen
Al-Verdampfungsraten relativ niedrige Wasserdampfpartialdruck in der Prozesskammer
sein. Dementsprechend ist damit auch die Bildung und der Einbau von amorphem
Aluminiumhydroxid in die Schicht unwahrscheinlicher. Da amorphes Alx(OH)y im
Vergleich zu Aluminium und Aluminiumoxid deutlich permeabler ist, können durch
hohe Verdampfungsraten bessere Barrierewerte erzielt werden. Ein weiterer Grund kann
ein Einfluss des Restgasdrucks auf die Korngröße sein, wie er von Brown [146]
beschrieben wird. Der Autor fand, dass bei höherem Restgasdruck in der
Prozesskammer kleinere Aluminiumkristallite gebildet werden. Da in diesem Fall eine