Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Die Korrelation zur realen Schichtdicke erfolgt dabei über das Adsorptionsgesetz
(Lambert-Beer-Bouguer-Gesetz). Dies besagt, dass das eingestrahlte Licht exponentiell
mit der Dicke des durchstrahlten Materials abgeschwächt wird. So ergibt sich zwischen
optischer und realer Schichtdicke ein linearer Zusammenhang. Diese Beziehung ist auch
in Abb. 5-1 anhand der zusätzlichen Achse mit dargestellt. Die Eichung erfolgte dabei
durch Messung der Schichtdicke der aufgedampften Schicht im REM; siehe hierzu
Anh. A.2, S. 165. Abb. 5-1 gibt die Versuchsergebnisse einer Bedampfung mit
Aluminium in einer Technikumanlage (Leybold Bandbedampfungsanlage am
5.1 Einfluss der Dicke der Aufdampfschicht auf die Permeationseigenschaften metallisierter Polymer-
Fraunhofer Institut für Verfahrenstechnik und Verpackung) wieder. Aufgetragen ist der
Verlauf der dimensionslosen Sauerstoffdurchlässigkeit in Abhängigkeit der optischen
Dichte für eine aluminiumbedampfte 12 µm dicke PET-Folie. Die Variation der
Aluminiumschichtdicke erfolgte durch Änderung der Aufdampfrate zwischen 2 nm/s
und 15 nm/s und der Wickelgeschwindigkeit zwischen 5 m/min und 0,5 m/min. Die
dimensionslosen Permeationswerte sind, in Anlehnung an die Simulationen, auf die
Durchlässigkeit der unbedampften PET-Folie bezogen. Diese weist eine
O2-Durchlässigkeit von 107 cm3(STP)/(m2·Tag·bar) auf.
Abb. 5-1:
Bezogene O2-Durchlässigkeit in Abhängigkeit der optischen Dicke der aufgedampften
Aluminiumschicht für metallisierte 12 µm dicke PET-Folie;
Bedampfung im Technikummaßstab (Leybold-Bandbedampfungsanlage am IVV,
Freising)
Q0=107 cm3(STP)/(m2·Tag·bar), gemessen bei 23°C und 50% rel. Feuchte