Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Die Korrelation zur realen Schichtdicke erfolgt dabei über das Adsorptionsgesetz<br />
(Lambert-Beer-Bouguer-Gesetz). Dies besagt, dass das eingestrahlte Licht exponentiell<br />
mit <strong>de</strong>r Dicke <strong>de</strong>s durchstrahlten Materials abgeschwächt wird. So ergibt sich zwischen<br />
optischer und realer Schichtdicke ein linearer Zusammenhang. Diese Beziehung ist auch<br />
in Abb. 5-1 anhand <strong>de</strong>r zusätzlichen Achse mit dargestellt. Die Eichung erfolgte dabei<br />
durch Messung <strong>de</strong>r Schichtdicke <strong>de</strong>r aufgedampften Schicht im REM; siehe hierzu<br />
Anh. A.2, S. 165. Abb. 5-1 gibt die Versuchsergebnisse einer Bedampfung mit<br />
Aluminium in einer Technikumanlage (Leybold Bandbedampfungsanlage am<br />
5.1 Einfluss <strong>de</strong>r Dicke <strong>de</strong>r Aufdampfschicht auf die Permeationseigenschaften metallisierter Polymer-<br />
Fraunhofer Insti<strong>tu</strong>t für Verfahrenstechnik und Verpackung) wie<strong>de</strong>r. Aufgetragen ist <strong>de</strong>r<br />
Verlauf <strong>de</strong>r dimensionslosen Sauerstoffdurchlässigkeit in Abhängigkeit <strong>de</strong>r optischen<br />
Dichte für eine aluminiumbedampfte 12 µm dicke PET-Folie. Die Variation <strong>de</strong>r<br />
Aluminiumschichtdicke erfolgte durch Än<strong>de</strong>rung <strong>de</strong>r Aufdampfrate zwischen 2 nm/s<br />
und 15 nm/s und <strong>de</strong>r Wickelgeschwindigkeit zwischen 5 m/min und 0,5 m/min. Die<br />
dimensionslosen Permeationswerte sind, in Anlehnung an die Simulationen, auf die<br />
Durchlässigkeit <strong>de</strong>r unbedampften PET-Folie bezogen. Diese weist eine<br />
O2-Durchlässigkeit von 107 cm3(STP)/(m2·Tag·bar) auf.<br />
Abb. 5-1:<br />
Bezogene O2-Durchlässigkeit in Abhängigkeit <strong>de</strong>r optischen Dicke <strong>de</strong>r aufgedampften<br />
Aluminiumschicht für metallisierte 12 µm dicke PET-Folie;<br />
Bedampfung im Technikummaßstab (Leybold-Bandbedampfungsanlage am IVV,<br />
Freising)<br />
Q0=107 cm3(STP)/(m2·Tag·bar), gemessen bei 23°C und 50% rel. Feuchte