Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Gefüge als in Zone I gekennzeichnet. Die Oberfläche war vergleichsweise glatt. Es
wurde jedoch festgestellt, dass diese Zone bei Metallen und einphasigen Legierungen
nur schwach ausgeprägt ist [113]. Die Druckabhängigkeit zeigte sich darin, dass mit
steigendem Restgasdruck die Übergangstemperaturen ebenfalls anstiegen. Erklärt
wurde dies damit, dass durch Stöße zwischen den verdampften Atomen und
Restgasatomen oder -molekülen Energie aufgebraucht wird und somit die
Oberflächenmobilität dadurch abnimmt.
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Messier et al. [125] stellten bei ihren Untersuchungen fest, dass bei dünnen Schichten
für Substrattemperaturen von ca. 50% der Schmelztemperatur des Aufdampfguts viele
wenige Nanometer dicke Säulen entstanden, die sich zu Überstrukturen mit knapp
Mikrometer großen Abmessungen gruppierten. Makroskopisch fanden sie, dass sich
selbst die Überstrukturen zu noch größeren Strukturen anordneten. Aus diesem Grund
fanden sie in den Schichten sowohl Nano-, Mikro- als auch Makrohohlräume. Messier
et al. führten auch die Vorspannung des Substrats als Größe für die durch Ionenbeschuss
erhöhte Oberflächenmobilität ein. Dadurch konnte begründet werden, weshalb
Schichten unter Ionenbeschuss allgemein eine höhere Kompaktheit und weniger
Defekte aufweisen.
Insgesamt ließ sich zeigen, dass die Gültigkeit des Drei-Zonen Modells nach Thornton,
für verschiedene Metalle einschließlich Aluminium zutrifft [113,126,127]. Es ist daher
zu erwarten, dass bei industriellen Aufdampfprozessen das Schichtgefüge der
aufgedampften Schicht durch Variation der Aufdampfbedingungen gesteuert werden
kann.