Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Gefüge als in Zone I gekennzeichnet. Die Oberfläche war vergleichsweise glatt. Es<br />
wur<strong>de</strong> jedoch festgestellt, dass diese Zone bei Metallen und einphasigen Legierungen<br />
nur schwach ausgeprägt ist [113]. Die Druckabhängigkeit zeigte sich darin, dass mit<br />
steigen<strong>de</strong>m Restgasdruck die Übergangstempera<strong>tu</strong>ren ebenfalls anstiegen. Erklärt<br />
wur<strong>de</strong> dies damit, dass durch Stöße zwischen <strong>de</strong>n verdampften Atomen und<br />
Restgasatomen o<strong>de</strong>r -molekülen Energie aufgebraucht wird und somit die<br />
Oberflächenmobilität dadurch abnimmt.<br />
Grundlagen 52________________________________________________________________2 Seite<br />
Messier et al. [125] stellten bei ihren Untersuchungen fest, dass bei dünnen Schichten<br />
für Substrattempera<strong>tu</strong>ren von ca. 50% <strong>de</strong>r Schmelztempera<strong>tu</strong>r <strong>de</strong>s Aufdampfguts viele<br />
wenige Nanometer dicke Säulen entstan<strong>de</strong>n, die sich zu Überstruk<strong>tu</strong>ren mit knapp<br />
Mikrometer großen Abmessungen gruppierten. Makroskopisch fan<strong>de</strong>n sie, dass sich<br />
selbst die Überstruk<strong>tu</strong>ren zu noch größeren Struk<strong>tu</strong>ren anordneten. Aus diesem Grund<br />
fan<strong>de</strong>n sie in <strong>de</strong>n Schichten sowohl Nano-, Mikro- als auch Makrohohlräume. Messier<br />
et al. führten auch die Vorspannung <strong>de</strong>s Substrats als Größe für die durch Ionenbeschuss<br />
erhöhte Oberflächenmobilität ein. Dadurch konnte begrün<strong>de</strong>t wer<strong>de</strong>n, weshalb<br />
Schichten unter Ionenbeschuss allgemein eine höhere Kompaktheit und weniger<br />
Defekte aufweisen.<br />
Insgesamt ließ sich zeigen, dass die Gültigkeit <strong>de</strong>s Drei-Zonen Mo<strong>de</strong>lls nach Thornton,<br />
für verschie<strong>de</strong>ne Metalle einschließlich Aluminium zutrifft [113,126,127]. Es ist daher<br />
zu erwarten, dass bei industriellen Aufdampfprozessen das Schichtgefüge <strong>de</strong>r<br />
aufgedampften Schicht durch Variation <strong>de</strong>r Aufdampfbedingungen gesteuert wer<strong>de</strong>n<br />
kann.