Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

erfolgt [105]. Für Polyethylenterephthalate ist hingegen bekannt, dass die Metalle über
den Sauerstoff im Polymer an diese gebunden werden [106]. Als Beispiele für industriell
genutzte Vorbehandlungsmethoden seien hierzu die Corona- und besonders die
Plasmavorbehandlung genannt [107-109]. Bei Folien wird zur Zeit nur noch bei BoPP
im großen Maßstab eine Beflammung der Folienoberfläche eingesetzt. Nachteil dieser
Methode ist jedoch die hohe thermische Belastung der Folie.
47 Vakuum________________________________________Seite im Substraten von Beschichtung 2.4
Im Fall von Folien in Bandform, also ganzen Folienrollen, kommen sogenannte
Rolle-zu-Rolle ("reel to reel") Systeme zum Einsatz. Bei solchen Anlagen wird das
unbeschichtete Substrat kontinuierlich mit Geschwindigkeiten von bis zu 14 m/s über
eine Kühlwalze abgewickelt, die eine thermische Überbeanspruchung der Folie
verhindern soll, am Verdampfer vorbeigeführt, bedampft und schließlich auf einer
zweiten Rolle wieder aufgewickelt [110]. Schematisch ist eine solche Anlage in
Abb. 2-12 dargestellt.
Abb. 2-12: Schema einer halbkontiuierlichen Vakuumbedampfungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer,
Plasmavor- und- nachbehandlung Kühlfalle sowie zusätzlicher
Plasmaquelle zur reaktiven Bedampfung nach [111]
Anlagen im Industriemaßstab erreichen dabei je nach Größe und Anzahl der Verdampfer
Aufdampfraten von 500 bis 2000 nm/s [112]. Die Kontrolle der Schichtdicke erfolgt
dabei im Fall von opaken Beschichtungen über Lichttransmissionsmessungen. Bei
Technikum- und Laboranlagen kann die Schichtdicke auch per Schwingquarz oder bei
transparenten Schichten mittels Ellipsometrie gemessen werden. Die Einstellung der
Schichtdicke kann durch die Änderung der Bahngeschwindigkeit einerseits und der
Höhe der Verdampfertemperatur bzw. der Verdampfungsrate andererseits erfolgen.
Insgesamt ist so eine schnelle und gleichmäßige Bedampfung der gesamten Folienrolle
im Batch-Prozess möglich. Befindet sich nun das ganze System einschließlich der
Abwickeleinheit im Vakuum, so kommt es durch den relativ hohen Feuchte- und