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Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

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Seite 176____________________________________________________________________Anhang<br />

Abb. A.8-4: Defektgrößenverteilung eines Musters <strong>de</strong>r Bedampfung S3 (OD 2,6);<br />

berechnete O2-Durchlässigkeit 97,0 cm3(STP)/(m2*Tag*bar)

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