Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

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A ANHANG
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A.1 Daten zu den verwendeten verwendeten Mikroskopsystemen
Lichtmikroskop (LM):
Leitz Diaplan mit CCD-Kamera bzw. Nikon 995 Digitalkamera
Betriebsweise Durchlicht und Auflicht, Objektive zwischen 10x und 100x mit
numerischer Apertur zwischen 0,35 und 0,9
erreichbare Auflösung: 686 nm (Weißlicht: 550 nm, num. Apertur 0,4)
Rasterelektronenmikroskop (REM):
JEOL JSM5900LV mit Wolfram-Kathode und Röntec EDX-Detektor
maximale Auflösung: 3 nm bei 30 kV und 8 mm Arbeitsabstand
Hitachi S-4000 mit Feldemissions-Kathode mit EDX-Detektor
erreichbare Auflösung: 2 nm bei 30 kV und 10 mm Arbeitsabstand
Raster-Kraft-Mikroskop (AFM):
Digital Instruments Multimode
Digital Instruments Dimension 3200
erzielbare Auflösung abhängig von der Spitzengeometrie und der
gescannten Bildgröße, typischerweise bis hinunter zu wenigen Nanometern
Transmissionselektronenmikroskop (TEM):
JEOL JEM2010 mit LaB6-Kathode, Photo- und CCD-Kamera
Gitterauflösung: 0,14 nm Punktauflösung: 0,23 nm
JEOL JEM100CX mit Wolfram-Kathode, Photokamera
Gitterauflösung: 0,14 nm Punktauflösung: 0,30 nm
A.2 Korrelation der optischen Dichte mit der realen Aluminiumschichtdicke
Um die, in der Praxis häufig genutzte, Schichtdickeneinheit optische Dichte mit der
realen Schichtdicke der aufgedampften Schicht in Beziehung zu setzen, wurden von
einzelnen Mustern jeweils sowohl die optische Dichte mit Hilfe von
Lichttransmissionsmessungen als auch die Dicke der Aufdampfschicht im REM
bestimmt. Die Ergebnisse sowie die Korrelationsfunktionen sind in der folgenden
Abbildung dargestellt. Die Verschiebung der Geraden zu negativen Al-Schichtdicken ist
dabei auf die optische Dichte der mitgemessenen Substratfolie zurück zuführen. Für
unbedampfte Folien ergeben sich für PET bzw. BoPP optische Dichten von 0.05 bzw.
0,08.