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165 A ANHANG ___________________________________________________________________________Seite A.1 Daten zu <strong>de</strong>n verwen<strong>de</strong>ten verwen<strong>de</strong>ten Mikroskopsystemen Lichtmikroskop (LM): Leitz Diaplan mit CCD-Kamera bzw. Nikon 995 Digitalkamera Betriebsweise Durchlicht und Auflicht, Objektive zwischen 10x und 100x mit numerischer Aper<strong>tu</strong>r zwischen 0,35 und 0,9 erreichbare Auflösung: 686 nm (Weißlicht: 550 nm, num. Aper<strong>tu</strong>r 0,4) Rasterelektronenmikroskop (REM): JEOL JSM5900LV mit Wolfram-Katho<strong>de</strong> und Röntec EDX-Detektor maximale Auflösung: 3 nm bei 30 kV und 8 mm Arbeitsabstand Hitachi S-4000 mit Fel<strong>de</strong>missions-Katho<strong>de</strong> mit EDX-Detektor erreichbare Auflösung: 2 nm bei 30 kV und 10 mm Arbeitsabstand Raster-Kraft-Mikroskop (AFM): Digital Instruments Multimo<strong>de</strong> Digital Instruments Dimension 3200 erzielbare Auflösung abhängig von <strong>de</strong>r Spitzengeometrie und <strong>de</strong>r gescannten Bildgröße, typischerweise bis hinunter zu wenigen Nanometern Transmissionselektronenmikroskop (TEM): JEOL JEM2010 mit LaB6-Katho<strong>de</strong>, Photo- und CCD-Kamera Gitterauflösung: 0,14 nm Punktauflösung: 0,23 nm JEOL JEM100CX mit Wolfram-Katho<strong>de</strong>, Photokamera Gitterauflösung: 0,14 nm Punktauflösung: 0,30 nm A.2 Korrelation <strong>de</strong>r optischen Dichte mit <strong>de</strong>r realen Aluminiumschichtdicke Um die, in <strong>de</strong>r Praxis häufig genutzte, Schichtdickeneinheit optische Dichte mit <strong>de</strong>r realen Schichtdicke <strong>de</strong>r aufgedampften Schicht in Beziehung zu setzen, wur<strong>de</strong>n von einzelnen Mustern jeweils sowohl die optische Dichte mit Hilfe von Lichttransmissionsmessungen als auch die Dicke <strong>de</strong>r Aufdampfschicht im REM bestimmt. Die Ergebnisse sowie die Korrelationsfunktionen sind in <strong>de</strong>r folgen<strong>de</strong>n Abbildung dargestellt. Die Verschiebung <strong>de</strong>r Gera<strong>de</strong>n zu negativen Al-Schichtdicken ist dabei auf die optische Dichte <strong>de</strong>r mitgemessenen Substratfolie zurück zuführen. Für unbedampfte Folien ergeben sich für PET bzw. BoPP optische Dichten von 0.05 bzw. 0,08.
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Lehrstuhl für Feststoffund Grenzfl
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VORWORT Die vorliegende Arbeit ents
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5.2 Einfluss mechanischer Verformun
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Bei kohlensäurehaltigen Getränken
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2.2 Grundlegende Eigenschaften von
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Ist ein Makromolekül nur aus einer
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2.2.2 Folienherstellung Grundlagen
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Dichte ~ 1390 kg/m3 850 - 920 kg/m3
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amorphen Bereichen Mikrohohlräume
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und Niederdruckseite der Folie zur
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ab. j ∂N 1 ------ ⋅ -- - D∇c
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Diese lineare Gleichung N(t) schnei
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Metallatomen sehr viel kleiner sind
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In diesem Fall geht man davon aus,
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Defekte in der aufgebrachten Schich
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------------ Θi Hermans entwickelt
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teilten diesen Fluss in zwei unters
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Insgesamt zeigt das Modell den wich
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Jamieson und Windle verglichen ihre
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dPolymer dPolymer dPolymer Schließ
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und die Permeationskoeffizienten de
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vielen Fällen gehen diese Modelle
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Aluminium dar. Die Elektronenstrahl
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Gasgehalt in der Substratfolien zum
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+ γCL 50__________________________
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Gefüge als in Zone I gekennzeichne
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und Designempfehlungen führen. Fü
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Fraunhofer-Institut für Verfahrens
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GDP/E kann durch das Evakuieren bei
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des Tab. 5-2: Übersicht über die
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Ausgehend von der dimensionslosen D
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. Experimentelle Ergebnisse 66_____
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Muster liegen die absoluten Permeat
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Es zeigt sich, dass bei Zunahme der
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Im Rahmen der experimentellen Messg
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Die Rauigkeit der aufgedampften Sch
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dargestellt. Aus der Anordnung der
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werden, dass durch Plasmavorbehandl
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Defektgrößenhäufigkeitsverteilun
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Interessant ist, dass die Anzahl de
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Deutlich zu erkennen ist die gute
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zu beachten, dass im Bereich von gr
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Der Fehler in der Näherung der zwe
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6.2.1 Modell der einseitig anorgani
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etrachtende Grenzwert ergibt sich d
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Insgesamt kann gefolgert werden, da
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----- Q = ------- -----------------
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auf. Die Gesamtdurchlässigkeit kan
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