Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

6.2 Erstellte Gittermodelle und Simulationsergebnisse_______________________________Seite 129
Abb. 6-18: Ergebnisse zum Verhalten einer zweiseitig bedampften dünnen Kunststoffschicht;
oben: Schichtdickenabhängigkeit für verschiedene Defektgrößen und -abstände
unten: AD=0,5 µm2, variabler Defekt-Defektabstand i
= 1,49·10-10 cm3(STP)·cm/(cm2·s·bar)
PPolymer
In der Abbildung oben zeigt sich, dass für Schichtdicken zwischen 1 µm und 3 µm nur
eine sehr schwache Zunahme der Durchlässigkeit auftritt. Reduziert man die Dicke der
Zwischenschicht unter ein kritisches Maß, das ähnlich wie bei den einseitig bedampften
Monofolien defektgrößenabhängig ist, so nimmt die Durchlässigkeit rasch ab.
Zurückzuführen ist dies auf die sich ausbildende Form des Konzentrationsprofils. Ist der
Defekt gegenüber der Schichtdicke d relativ groß, so wird die Ausbildung des
Konzentrationsprofils unterhalb des Defekts durch die angrenzende untere
Metallschicht stark beeinflusst. Der Fluss muss daher direkt in Richtung des entfernten
Defekts in der unteren Metallschicht fließen. Bei kleinen Defekten kann sich, wegen der
Unterschreitung der kritischen Dicke, noch ein Konzentrationsprofil, wie es bei
bedampften Monofolien auftritt, ausbilden. Der Konzentrationsgradient in Richtung des
anderen Defekts ist damit kleiner und damit nimmt auch die Durchlässigkeit ab. Wird
die Zwischenschichtdicke noch weiter reduziert, so führt schließlich die Einschnürung
des Zwischenraums zu einer Reduzierung der permeablen Querschnittsfläche. Dadurch