Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Seite 118_________________________________________________6 Modellierung und Simulation
Abb. 6-11: Simulationen zum Einfluss dünner, unterschiedlich permeabler Lagen zwischen
Metallisierung und Substratfolie; für das dargestellte Beispiel gilt:
d1=3 µm, d2=14 µm, P1:P2 variiert zwischen 1:1 und 100:1, Variation der Flächenporosität
bei konstanter Defekthäufigkeit (10000 pro cm2) über die Defektgröße
von 1 µm2 bis 10000 µm2
Betrachtet man nun den umgekehrten Fall einer dünnen Hochbarriereschicht zwischen
Metallisierung und Substratfolie, so zeigt sich, dass in diesem Fall die dünne
Zwischenschicht die Gesamtdurchlässigkeit dominiert. Im Fall großer Unterschiede in
den Permeationskoeffizienten erfolgt nahezu der gesamte Konzentrationsabfall
innerhalb der dünnen Zwischenschicht. Begründen lässt sich dies, wenn man auf die
zuvor erläuterten Simulationen zur Schichtdickenabhängigkeit bei defektbehafteten,
bedampften Monofolien zurückgreift. Dort wurde gezeigt, dass die Durchlässigkeit ab
einer Foliendicke von ca. (2...2,5)·Defektdurchmesser nahezu konstant bleibt. Typische
real auftretende, häufige Defektgrößen liegen um 0,5-2 µm2. Daraus ergibt sich eine
kritische Schichtdicke von wenigen Mikrometern. Eine entsprechend dicke
Zwischenschicht reicht damit aus, um die Gesamtdurchlässigkeit zu bestimmen. Da die
darunterliegende Folie nun zusätzlich noch eine höhere Durchlässigkeit ausweist, kann
sie somit vernachlässigt werden.