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Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

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-----<br />

Q<br />

=<br />

-------<br />

-----------------------------------------------------------------------------------------<br />

1 – exp – 0,<br />

507 ⋅ -----------<br />

⎝<br />

⎛ d ⎠<br />

⎞ + 0 , 01 ⋅ ------<br />

AD<br />

110_________________________________________________6 Mo<strong>de</strong>llierung und Simulation<br />

AD Seite<br />

L2<br />

(6-14)<br />

Hierbei stellt Q die zu erwarten<strong>de</strong> Durchlässigkeit <strong>de</strong>r <strong>de</strong>fektbehafteten bedampften<br />

Polmyerfolie, die Durchlässigkeit <strong>de</strong>r unbedampften Polymerfolie, die<br />

Defektfläche <strong>de</strong>s quadratischen Defekts, L <strong>de</strong>n charakteristischen Defektabstand und d<br />

die Dicke <strong>de</strong>r Polymerfolie dar. Der Gültigkeitsbereich <strong>de</strong>r Näherungsformel erstreckt<br />

sich dabei über einen großen Bereich von mehreren Größenordnungen <strong>de</strong>r<br />

Q0<br />

AD L2<br />

Q0 AD<br />

AD<br />

dimensionslosen Kennzahlen. Im speziellen gilt die Formel für /d von 10<br />

und AD/L2 für von 0,1. Das Bestimmtheitsmaß liegt bei 0,9972. Wie die<br />

experimentellen Untersuchungen im Verlauf <strong>de</strong>r Arbeit zeigten, geht dieser<br />

Wertebereich <strong>de</strong>utlich über die üblichen industriell auftreten<strong>de</strong>n Werte hinaus. Eine<br />

Vorhersage <strong>de</strong>r Durchlässigkeit <strong>de</strong>fektbehafteter bedampfter Folien sowohl aus<br />

Industrie- als auch aus Laborproduktion ist somit schnell möglich.<br />

10-5 10-2<br />

bis<br />

bis<br />

Um die komplizierte Abhängigkeit <strong>de</strong>r Permeationsrate von Defektgröße, -häufigkeit<br />

sowie Foliendicke besser verstehen zu können, wur<strong>de</strong> in <strong>de</strong>n Simulationen jeweils eine<br />

<strong>de</strong>r Einflussgrößen variiert, während die an<strong>de</strong>ren konstant gehalten wur<strong>de</strong>n. Die<br />

Ergebnisse hierzu wer<strong>de</strong>n im Weiteren dargestellt.<br />

Einfluss <strong>de</strong>r Wechselwirkung <strong>de</strong>r Defekte untereinan<strong>de</strong>r auf die Durchlässigkeit<br />

Zunächst soll auf die Wechselwirkung <strong>de</strong>r Konzentrionsprofile <strong>de</strong>r Defekte<br />

untereinan<strong>de</strong>r eingegangen wer<strong>de</strong>n.<br />

Teilt man die flächenbezogene Durchlässigkeit Q durch die jeweilige flächenbezogene<br />

Defekthäufigkeit, so erhält man <strong>de</strong>n Fluss pro Defekt. Wie in Abb. 6-7 <strong>de</strong>utlich zu<br />

erkennen ist, nähert sich dieser mit zunehmen<strong>de</strong>m Defektabstand einem konstanten Wert<br />

an. Dieser entspricht <strong>de</strong>r jeweiligen Durchflussrate pro Defekt ohne Wechselwirkung.<br />

Ebenso zeigt sich, dass <strong>de</strong>r minimale charakteristische Defektabstand, bei <strong>de</strong>m die<br />

Wechselwirkung einsetzt, von <strong>de</strong>r Defektgröße abhängt. So variiert dieser Wert für<br />

Defektgrößen von 1 µm2 bis 100 µm2 zwischen 15 µm und 80 µm. Für Defekte größer<br />

als ca. 36 µm2 steigt <strong>de</strong>r minimale Defektabstand, an <strong>de</strong>m die Wechselwirkung einsetzt,<br />

jedoch langsamer mit <strong>de</strong>r Defektfläche an. Er nimmt in diesem Bereich Werte zwischen<br />

60 µm und 80 µm an. Solche großen Defekte kommen bei industriell bedampften Folien<br />

aber nur im Fall von Prozessproblemen wie großflächigen Beschädigungen <strong>de</strong>r<br />

aufgedampften Schicht vor. Eine eingehen<strong>de</strong>re Betrach<strong>tu</strong>ng dieser Defekte ist somit<br />

nicht notwendig.

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