Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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etrachten<strong>de</strong> Grenzwert ergibt sich dabei aus <strong>de</strong>n typischen industriellen Daten von<br />
bedampften Kunststofffolien. Um sicherzustellen, dass diese korrekt simuliert wer<strong>de</strong>n<br />
können, wur<strong>de</strong> für die Konvergenzuntersuchungen von Defekten mit einer Größe von<br />
AD=0,01<br />
Seite<br />
bei einem Defektabstand von L=100 µm sowie einer Foliendicke von<br />
20 µm ausgegangen. Variiert wur<strong>de</strong> dabei <strong>de</strong>r minimale Gitterabstand, <strong>de</strong>r am<br />
Defektrand auftritt und über die quadratische Abstandserhöhung einen Einfluss auf das<br />
106_________________________________________________6 Mo<strong>de</strong>llierung und Simulation<br />
µm2<br />
gesamte Gittermo<strong>de</strong>ll hat. Weiterhin erfolgte <strong>de</strong>r Abbruch <strong>de</strong>r Simulation bei<br />
gleichbleiben<strong>de</strong>m Gitterabstand nach verschie<strong>de</strong>nen Iterationszahlen. Die Ergebnisse<br />
hierzu sind in Abb. 6-4 graphisch dargestellt.<br />
Abb. 6-4:<br />
Konvergenz <strong>de</strong>s Mo<strong>de</strong>lls am Beispiel <strong>de</strong>s Grenzwerts kleinster Defekte, großer<br />
Defektabstän<strong>de</strong> und mittlerer Schichtdicken; AD= 0,01 µm2, d=20 µm, L=100<br />
µm;<br />
a) Einfluss <strong>de</strong>s minimalen Gitterabstands ∆x<br />
b) Einfluss <strong>de</strong>r Anzahl <strong>de</strong>r Iterationen<br />
auf die dimensionslose Durchlässigkeit Q/Q0<br />
Man erkennt, dass ein minimaler Gitterabstand von 10 nm nötig ist, um eine<br />
ausreichen<strong>de</strong> Konvergenz <strong>de</strong>s Mo<strong>de</strong>lls zu gewährleisten. Daneben müssen einige<br />
zehntausend Iterationen durchgeführt wer<strong>de</strong>n. Im vorliegen<strong>de</strong>n Fall war die Simulation<br />
nach 62500 Iterationen auskonvergiert. Ebenso kann gefolgert wer<strong>de</strong>n, dass für größere<br />
Defekte sowie kleinere charakteristische Defektabstän<strong>de</strong>, die minimalen Gitterabstän<strong>de</strong><br />
nicht signifikant vergrößert wer<strong>de</strong>n können, ohne eine <strong>de</strong>utliche Abweichung vom