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Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

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Seite 96____________________________________________________5 Experimentelle Ergebnisse<br />

Abb. 5-22: Vergleich eines charakteristisch geformten Defekts im LM, REM und AFM;<br />

oben: Lichtmikroskop, Mitte: REM, unten: AFM;<br />

Markierungen siehe Text

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