Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Die verschiedenen Analysemethoden, die zur Defektuntersuchung eingesetzt wurden,
lieferten alle sehr ähnliche Defektgrößenhäufigkeitsverteilungen. So differiert sowohl
die Gesamtzahl der Defekte als auch die Gesamtdefektfläche lediglich um ca. 6%. Es
kann daher von einer guten Übereinstimmung gesprochen werden.
95 Defektanalyse________________________________________________Seite Mikroskopische 5.5
Um einschätzen zu können, inwieweit die Ergebnisse auf einen zufälligen Ausgleich
unterschiedlicher Abbildungsfehler zurückzuführen sind bzw. die gefundenen Größen
wirklich der Realität entsprechen, wurde ein charakteristisch geformter Defekt auf einer
bedampften Folie ausgewählt und mit einem L-förmigen Kratzer in der aufgedampften
Aluminiumschicht so markiert, dass er auch mittels AFM und REM wiedergefunden
werden konnte. Dieser Defekt wurde zunächst im Lichtmikroskop fotografiert und
vermessen. Anschließend erfolgte eine AFM-Messung und schließlich wurde er kurz
besputtert und im REM untersucht. Diese Reihenfolge war nötig, da die
Lichttransmission durch den Defekt beim Besputtern stark reduziert wird und sonst ein
Wiederfinden des Defekts nahezu unmöglich werden würde. Abb. 5-22 auf der
folgenden Seite stellt die ermittelten Bilder dar.
Deutlich zu erkennen ist die sehr gute Übereinstimmung zwischen den verschiedenen
Methoden. Bei genauer Betrachtung der Bilder fällt auf, dass im Lichtmikroskop sogar
Strukturen, wie die mit A und B markierten Risse, welche eine gemessene reale Breite
von 263 ± 48 nm bzw. 277 ± 41 nm aufweisen, noch detektiert werden können. Diese
liegen schon deutlich unterhalb der Auflösungsgrenze des Lichtmikroskops von 686 nm,
wie sie sich für ein Objektiv mit numerischer Apertur von 0,4 und Weißlicht mit einer
Wellenlänge von 550 nm ergibt. So dürften diese Defekte aufgrund des starken
exponentiellen Abfalls durch den Tunneleffekt innerhalb des Defekts nur noch sehr
schwach zu sehen sein. Offensichtlich führen Beugungseffekte an den Rändern des
Defekts zu einer scheinbaren Vergrößerung des Defekts. Schemenhaft ist dies auch an
einigen Stellen im Lichtmikroskopbild durch die mehrfach auftretenden und schwächer
werdenden Strukturen zu erkennen. Es zeigte sich, dass diese scheinbare Größe der
Defekte stark von der eingestellten Helligkeit im Lichtmikroskop abhängt. Durch den
Vergleich der Messergebnisse im REM kann die optimale Helligkeitseinstellung
ermittelt werden. Weiterhin sind die deformierten Bereich C und D zu erkennen. Sogar
auf das Vorhandensein von Höhenunterschieden kann anhand der Lichtmikroskopbilder
geschlossen werden.