Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Die verschie<strong>de</strong>nen Analysemetho<strong>de</strong>n, die zur Defek<strong>tu</strong>ntersuchung eingesetzt wur<strong>de</strong>n,<br />
lieferten alle sehr ähnliche Defektgrößenhäufigkeitsverteilungen. So differiert sowohl<br />
die Gesamtzahl <strong>de</strong>r Defekte als auch die Gesamt<strong>de</strong>fektfläche lediglich um ca. 6%. Es<br />
kann daher von einer guten Übereinstimmung gesprochen wer<strong>de</strong>n.<br />
95 Defektanalyse________________________________________________Seite Mikroskopische 5.5<br />
Um einschätzen zu können, inwieweit die Ergebnisse auf einen zufälligen Ausgleich<br />
unterschiedlicher Abbildungsfehler zurückzuführen sind bzw. die gefun<strong>de</strong>nen Größen<br />
wirklich <strong>de</strong>r Realität entsprechen, wur<strong>de</strong> ein charakteristisch geformter Defekt auf einer<br />
bedampften Folie ausgewählt und mit einem L-förmigen Kratzer in <strong>de</strong>r aufgedampften<br />
Aluminiumschicht so markiert, dass er auch mittels AFM und REM wie<strong>de</strong>rgefun<strong>de</strong>n<br />
wer<strong>de</strong>n konnte. Dieser Defekt wur<strong>de</strong> zunächst im Lichtmikroskop fotografiert und<br />
vermessen. Anschließend erfolgte eine AFM-Messung und schließlich wur<strong>de</strong> er kurz<br />
besputtert und im REM untersucht. Diese Reihenfolge war nötig, da die<br />
Lichttransmission durch <strong>de</strong>n Defekt beim Besputtern stark reduziert wird und sonst ein<br />
Wie<strong>de</strong>rfin<strong>de</strong>n <strong>de</strong>s Defekts nahezu unmöglich wer<strong>de</strong>n wür<strong>de</strong>. Abb. 5-22 auf <strong>de</strong>r<br />
folgen<strong>de</strong>n Seite stellt die ermittelten Bil<strong>de</strong>r dar.<br />
Deutlich zu erkennen ist die sehr gute Übereinstimmung zwischen <strong>de</strong>n verschie<strong>de</strong>nen<br />
Metho<strong>de</strong>n. Bei genauer Betrach<strong>tu</strong>ng <strong>de</strong>r Bil<strong>de</strong>r fällt auf, dass im Lichtmikroskop sogar<br />
Struk<strong>tu</strong>ren, wie die mit A und B markierten Risse, welche eine gemessene reale Breite<br />
von 263 ± 48 nm bzw. 277 ± 41 nm aufweisen, noch <strong>de</strong>tektiert wer<strong>de</strong>n können. Diese<br />
liegen schon <strong>de</strong>utlich unterhalb <strong>de</strong>r Auflösungsgrenze <strong>de</strong>s Lichtmikroskops von 686 nm,<br />
wie sie sich für ein Objektiv mit numerischer Aper<strong>tu</strong>r von 0,4 und Weißlicht mit einer<br />
Wellenlänge von 550 nm ergibt. So dürften diese Defekte aufgrund <strong>de</strong>s starken<br />
exponentiellen Abfalls durch <strong>de</strong>n Tunneleffekt innerhalb <strong>de</strong>s Defekts nur noch sehr<br />
schwach zu sehen sein. Offensichtlich führen Beugungseffekte an <strong>de</strong>n Rän<strong>de</strong>rn <strong>de</strong>s<br />
Defekts zu einer scheinbaren Vergrößerung <strong>de</strong>s Defekts. Schemenhaft ist dies auch an<br />
einigen Stellen im Lichtmikroskopbild durch die mehrfach auftreten<strong>de</strong>n und schwächer<br />
wer<strong>de</strong>n<strong>de</strong>n Struk<strong>tu</strong>ren zu erkennen. Es zeigte sich, dass diese scheinbare Größe <strong>de</strong>r<br />
Defekte stark von <strong>de</strong>r eingestellten Helligkeit im Lichtmikroskop abhängt. Durch <strong>de</strong>n<br />
Vergleich <strong>de</strong>r Messergebnisse im REM kann die optimale Helligkeitseinstellung<br />
ermittelt wer<strong>de</strong>n. Weiterhin sind die <strong>de</strong>formierten Bereich C und D zu erkennen. Sogar<br />
auf das Vorhan<strong>de</strong>nsein von Höhenunterschie<strong>de</strong>n kann anhand <strong>de</strong>r Lichtmikroskopbil<strong>de</strong>r<br />
geschlossen wer<strong>de</strong>n.