Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Deutlich zu erkennen ist die gute Übereinstimmung über den gesamten Messbereich.
Die AFM-Messungen bestätigen damit die rasterelektronenmikroskopischen
Untersuchungen. Die AFM-Analyse erscheint jedoch aufgrund des komplizierten,
teuren Messprinzips und der zeitintensiven Messung nicht als geeignete Methode für
eine günstige und schnelle Defektanalyse. Einige Abbildungen von Defekten und Rissen
sind zur Verdeutlichung im Anhang A.4 dieser Arbeit abgebildet. Sie zeigen ebenfalls
die gute Übereinstimmung zwischen REM und AFM Ergebnissen.
Ergebnisse Experimentelle 94____________________________________________________5 Seite
Defekte unterhalb von etwa 0,2 µm2 konnten auch bei noch kleineren Scanbereichen
von 2x2 µm2 bis 10x10 µm2 nicht nachgewiesen werden. Bei allen mikroskopischen
Untersuchungen zeigte sich ein ausgeprägtes Maximum der Defektgrößenhäufigkeit bei
etwa 0,5 µm2. Dies entspricht Werten, wie sie da Silva Sobrinho et al. [154] an
SiOx-beschichteten PET-Folien ermitteln konnten. Auch der in der vorliegenden
Untersuchungen ermittelte Abfall bei kleineren Defektgrößen als 0,5 µm2 wurde von da
Silva Sobrinho et al. gefunden. Die von diesen Autoren vorgestellten Messungen wiesen
jedoch noch Defektgrößen bis hinunter zu 0,1 µm Radius auf.
5.5.4 Vergleichbarkeit der unterschiedlichen Analysemethoden
Um einen direkten Vergleich zwischen den einzelnen Analysemethoden zu ermöglichen,
sind in Abb. 5-21 die Messergebnisse der drei unterschiedlichen Messmethoden
zusammengefasst dargestellt.
Abb. 5-21: Zusammenfassung der Ergebnisse der LM-, AFM- und REM-Defektanalyse des
Musters S4 OD 2,6