Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

könnte, reicht die lichtmikroskopische Analyse zur Vorhersage der Permeation daher
nicht aus. Vielmehr müssen solche Muster für eine korrekte mit dem
Rasterelektronenmikroskop untersucht werden.
93 Defektanalyse________________________________________________Seite Mikroskopische 5.5
5.5.3 Defektanalyse im Raster-Kraft-Mikroskop (AFM)
Aufgrund der geringen nutzbaren Scanfläche war im AFM eine detaillierte Analyse mit
einem Messbereich von insgesamt 988000 µm2 sehr aufwendig, da selbst die
Verwendung von 100x100 µm2 Scans und der damit verbundenen Reduzierung der
Auflösung auf 195 nm noch jeweils knapp 100 Messungen pro unterschiedlichem
Muster durchzuführen waren. Bei dieser Scangröße mussten kleine Defekte unter 1 µm2
zur genauen Analyse nochmals bei einer reduzierten Scangröße von 25x25 µm2
vermessen werden. Insgesamt wurden zur Defektanalyse wiederum zehn, mehrere
Zentimeter voneinander entfernte Stellen auf der Probe herausgegriffen und gescannt.
Dabei wurde jeweils eine Messfläche von etwa 100000 µm2 untersucht. Die
Defektgrößenhäufigkeitsverteilung wies eine gute Übereinstimmung mit den zuvor
beschriebenen Verläufen aus LM- und REM-Messungen für Defekte größer 0,5 µm2 auf.
Unterhalb von 0,5 µm2 entsprach er dem Verlauf, wie er mittels REM nachgewiesen
werden konnte. Abb. 5-20 stellt den ermittelten Verlauf des Musters (S4) OD 2,6, wie
es bereits zuvor im LM und im REM untersucht wurden, graphisch dar.
Abb. 5-20: Defektgrößenhäufigkeitsverteilung aus AFM-Messungen;
gesamte vermessene Fläche: 100000 µm2