Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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5.5 Mikroskopische Defektanalyse________________________________________________Seite 91<br />
Abb. 5-18: Defektgrößenhäufigkeitsverteilung aus REM-Messungen;<br />
gesamte vermessene Fläche: 988000 µm2<br />
Auch hier tritt ein ähnlicher Verlauf wie beim Lichtmikroskop auf. Das Maximum <strong>de</strong>r<br />
Defekthäufigkeit tritt hier ebenfalls bei 0,5 µm2 auf. Da im REM prinzipiell auch<br />
kleinere Struk<strong>tu</strong>ren bis unter 0,01 µm2 messbar sind, kann die<br />
Defektgrößenhäufigkeitsverteilung entsprechend in diesen Bereich hinein erweitert<br />
wer<strong>de</strong>n. In <strong>de</strong>n Experimenten konnten jedoch keine Defektgrößen von 0,1 µm2 und<br />
darunter <strong>de</strong>tektiert wer<strong>de</strong>n. Insgesamt unterschei<strong>de</strong>n sich die im Lichtmikroskop<br />
gemessene Kurve und die hier dargestellte daher im Bereich um 0,5 µm2. Um einen<br />
Vergleich zwischen LM und REM (bzw. auch AFM) in diesem Bereich durchzuführen,<br />
müssen die im REM (o<strong>de</strong>r AFM) <strong>de</strong>tektierten Defektanzahlen <strong>de</strong>r Defektgrößen<br />
0,4 µm2 und 0,5 µm2 zusammengezählt wer<strong>de</strong>n, da im Lichtmikroskop in diesem<br />
Bereich keine Größenunterscheidung getroffen wird. Kleinere Defekte unterhalb<br />
0,3 µm2 brauchen nicht hinzu addiert wer<strong>de</strong>n, da aufgrund <strong>de</strong>r begrenzten optischen<br />
Auflösung im LM diese nicht mehr <strong>de</strong>tektiert wer<strong>de</strong>n. Insgesamt tritt dann auch im REM<br />
(ebenso im AFM, siehe folgen<strong>de</strong>n Abschnitt) ein Defektgrößenhäufigkeitsmaximum bei<br />
0,5 µm2 auf.