Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

5.5 Mikroskopische Defektanalyse________________________________________________Seite 91
Abb. 5-18: Defektgrößenhäufigkeitsverteilung aus REM-Messungen;
gesamte vermessene Fläche: 988000 µm2
Auch hier tritt ein ähnlicher Verlauf wie beim Lichtmikroskop auf. Das Maximum der
Defekthäufigkeit tritt hier ebenfalls bei 0,5 µm2 auf. Da im REM prinzipiell auch
kleinere Strukturen bis unter 0,01 µm2 messbar sind, kann die
Defektgrößenhäufigkeitsverteilung entsprechend in diesen Bereich hinein erweitert
werden. In den Experimenten konnten jedoch keine Defektgrößen von 0,1 µm2 und
darunter detektiert werden. Insgesamt unterscheiden sich die im Lichtmikroskop
gemessene Kurve und die hier dargestellte daher im Bereich um 0,5 µm2. Um einen
Vergleich zwischen LM und REM (bzw. auch AFM) in diesem Bereich durchzuführen,
müssen die im REM (oder AFM) detektierten Defektanzahlen der Defektgrößen
0,4 µm2 und 0,5 µm2 zusammengezählt werden, da im Lichtmikroskop in diesem
Bereich keine Größenunterscheidung getroffen wird. Kleinere Defekte unterhalb
0,3 µm2 brauchen nicht hinzu addiert werden, da aufgrund der begrenzten optischen
Auflösung im LM diese nicht mehr detektiert werden. Insgesamt tritt dann auch im REM
(ebenso im AFM, siehe folgenden Abschnitt) ein Defektgrößenhäufigkeitsmaximum bei
0,5 µm2 auf.