Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

Defektgrößenhäufigkeitsverteilung deutlich ab. Es muss jedoch berücksichtigt werden,
dass aufgrund der geringen absoluten Zahl an Defekten die statistische Aussagekraft
leidet und das beobachtete Verhalten in solchen Fällen daher nicht generalisiert werden
sollte.
Ergebnisse Experimentelle 90____________________________________________________5 Seite
Der Verlauf der Defektgrößenhäufigkeitsverteilung scheint dabei charakteristisch zu
sein und tritt in dieser Form bei nahezu allen untersuchten Mustern (mit Ausnahme der
zuvor erwähnten dicken Schichten geringer Defektzahl) auf, und zwar unabhängig vom
Substratfolienmaterial und der Vorbehandlung. Man kann daher annehmen, dass
hauptsächlich die kleinen, in der obersten Lage der Polymerfolie eingearbeiteten
Antiblockpartikel sowie kleine, gut haftende Staubpartikel auf der Polymeroberfläche
für die beobachteten Defekte verantwortlich zu machen sind.
Lichtmikroskopische Untersuchungen an gedehnten, bedampften Folien wiesen
dagegen keinen signifikanten Unterschied zu unbelasteten Mustern in der
Defektgrößenhäufigkeitsverteilung auf. Trotzdem war experimentell (siehe
Abschn. 5.2, S. 68f.) ein deutlicher Anstieg der Durchlässigkeit zu beobachten.
Offenbar können die hierfür verantwortlichen Defekte nicht im Lichtmikroskop
detektiert werden. Es ist daher wahrscheinlich, dass ihre charakteristische Abmessung
unterhalb der Auflösungsfähigkeit des LM liegt. Um dies zu belegen, wurden solche
Muster auch im REM analysiert.
5.5.2 Defektanalyse im Rasterelektronenmikroskop (REM)
Um die Defektstruktur möglichst nicht zu verändern, wurden zunächst Messungen an
unbesputterten Probenmustern durchgeführt. Dabei kam es jedoch zu starken
Aufladungseffekte sowohl an den Defekträndern in der Aluminiumschicht als auch an
den im Defekt freiliegenden, schlecht leitenden Polymeroberflächen. Diese machten
eine genaue Größenbestimmung der Defekte unmöglich. Aus diesem Grund mussten die
leitfähigen Aluminiumschichten zusätzlich besputtert werden. Ausreichend hierfür
erwies sich eine wenige Nanometer dicke Goldschicht. Dadurch konnte auch der Fehler
bei der Größenbestimmung innerhalb von etwa 5% gehalten werden.
Entsprechend den lichtmikroskopischen Messungen wurden auch für die
REM-Untersuchungen zehn willkürliche Stellen auf der Probe gewählt und vermessen.
Als Beispiel zum direkten Vergleich, der aus den verschiedenen Analysemethoden
ermittelten Defektgrößenhäufigkeitsverteilung, ist die aus REM-Messungen bestimmte
Verteilung des Musters (S4) OD 2,6 wiedergegeben. Dieses wurde bereits
lichtmikroskopisch untersucht und das entsprechende Ergebnis ist in Abb. 5-17
dargestellt.