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5.1. Holografische Belichtung im Scanverfahren 69<br />

optischer Tisch<br />

Streuvorlage<br />

kontinuerlich gescannter<br />

Laserstrahl zur Justage<br />

Abb. 5.2: Vorbereitung der gescannten Belichtung. Hier wird ein rechteckiger Reflexionsdiffusor<br />

(DALITE Silver Matte) der Abmessungen 10cm x 12cm holografisch aufgenommen. Zur Einstellung<br />

der Substratgröße und -position scannt ein schwacher Laserstrahl kontinuierlich über das<br />

Substrat. Zu sehen ist der auf Glas laminierte Diffusor auf der schwarzen Fläche des optischen<br />

Tisches sowie die abgescannten Grenzen des später belichteten Bereichs.<br />

gütegeschalteter Nd:YAG Laser hoher Kohärenzlänge zur Verfügung. Die wichtigsten Parameter<br />

dieses Lasersystems sind :<br />

• Puls-Wiederholrate : 12-15 kHz<br />

• Pulsenergie : 0.8-40 µJ<br />

• maximale mittlere Strahlungsleistung : 500 mW<br />

• Bandbreite : < 80 MHz<br />

• Resonator : monolithischer Ringoszillator mit passivem Q-switch (Cr:YAG)<br />

Der Pulslaser kann über einen klappbaren Spiegel in den Strahlengang eingekoppelt werden.<br />

Abbildung 5.3 zeigt die Trennung der Einzelpulse bei schnellem Scannen mit den<br />

Galvanoscannern.

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