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5.1. Holografische Belichtung im Scanverfahren 69<br />
optischer Tisch<br />
Streuvorlage<br />
kontinuerlich gescannter<br />
Laserstrahl zur Justage<br />
Abb. 5.2: Vorbereitung der gescannten Belichtung. Hier wird ein rechteckiger Reflexionsdiffusor<br />
(DALITE Silver Matte) der Abmessungen 10cm x 12cm holografisch aufgenommen. Zur Einstellung<br />
der Substratgröße und -position scannt ein schwacher Laserstrahl kontinuierlich über das<br />
Substrat. Zu sehen ist der auf Glas laminierte Diffusor auf der schwarzen Fläche des optischen<br />
Tisches sowie die abgescannten Grenzen des später belichteten Bereichs.<br />
gütegeschalteter Nd:YAG Laser hoher Kohärenzlänge zur Verfügung. Die wichtigsten Parameter<br />
dieses Lasersystems sind :<br />
• Puls-Wiederholrate : 12-15 kHz<br />
• Pulsenergie : 0.8-40 µJ<br />
• maximale mittlere Strahlungsleistung : 500 mW<br />
• Bandbreite : < 80 MHz<br />
• Resonator : monolithischer Ringoszillator mit passivem Q-switch (Cr:YAG)<br />
Der Pulslaser kann über einen klappbaren Spiegel in den Strahlengang eingekoppelt werden.<br />
Abbildung 5.3 zeigt die Trennung der Einzelpulse bei schnellem Scannen mit den<br />
Galvanoscannern.