Sensor 11
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80 Werkstoffe und <strong>Sensor</strong>ik<br />
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Abb. <strong>11</strong>.40. Die Gesamtanordnung enthält die Übertragungsglieder<br />
für den örtlich verteilten Druck, die Si-<br />
Kapazitäten, Gehäuseteile und die integrierte Auswerteschaltung<br />
in hybrider Technik.
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