IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...
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<strong>IGF</strong> Vorhaben Nr. <strong>15462</strong>N<br />
In Abbildung 63 ist eindeutig zu erkennen, dass es zwischen den Aspektverhältnissen 1,23<br />
und 1,08 einen großen Sprung beim Mittelwert des Einzelviawiderstandes gibt. Weiterhin ist<br />
auch eine deutlich höhere Standardabweichung zu erkennen, was darauf schließen lässt,<br />
dass geringe Prozessschwankungen zu großen Widerstandsänderungen bei Vias mit<br />
höheren Aspektverhältnissen führen.<br />
Chip<br />
Abbildung 64: Demonstrator mit 4-Leiter-Messstruktur (Chipgröße 2,2mm x 3,3mm); Substratoberseite<br />
(links); Substratrückseite (rechts)<br />
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