IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...

IGF Vorhaben Nr. 15462N
In den Tabellen 6 und 7 sind die Ergebnisse der Vermessungen dargestellt.
Tabelle 6: Vermessung des Laserlayouts bei Ausrichtung an den Chipstrukturen
Messposition a1 b1 a2 b2
Mittelwert aus 4 Substraten [µm] 87 76 91 99
Standardabweichung [µm] 12 4 10 7
Tabelle 7: Vermessung des Laserlayouts bei Ausrichtung an der Substrathalterung
Messposition a1 b1 a2 b2
Mittelwert aus 5 Substraten [µm] 118 89 179 197
Standardabweichung [µm] 4 5 4 4
Die Messergebnisse zeigen, dass es zwischen den beiden Justagevarianten für das
Laserlayout keine signifikanten Unterschiede gibt. Weiterhin kann man die Aussage treffen,
dass die Toleranzen durch das Chipsägen und Umspritzen kleiner ausfallen als erwartet
wurde, da die Standardabweichung bei der Versuchsreihe mit Ausrichtung des Layouts an
der Substrathalterung sehr gering war.
Weiterhin wurde die Positioniergenauigkeit des Layouts auch bei Substraten mit Chips der
Größe 3,3mm x 2,2mm und einer Padgröße von 250µm x 250µm untersucht. Es wurden die
in Tabelle 8 aufgeführten Varianten untersucht.
Tabelle 8: Untersuchte Varianten bei Chips mit der Padgröße von 250µm x 250µm
Viadurchmesser [µm]
Aspektverhältnis
Variante 1 150 1,43
Variante 2 175 1,23
Variante 3 200 1,08
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