IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...
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<strong>IGF</strong> Vorhaben Nr. <strong>15462</strong>N<br />
Eine Übersicht über alle angefertigten und modifizierten Werkzeugeinsätze zeigt Tabelle1.<br />
Tabelle 1: Übersicht der gefertigten Werkzeugeinsätze<br />
Chipgröße<br />
[mm 2 ]<br />
Werkzeugeinsatz<br />
Wandstärke<br />
µm]<br />
Modifikationen<br />
Ergebnisse<br />
6,6 x 6,6 1V1 400 Risse im Chip<br />
6,6 x 6,6 1V2 400 Einbringen von Freistellungen<br />
in der<br />
Chipauflagefläche<br />
6,6 x 6,6 3V1 280 Einbringen von<br />
Freistellungen in der<br />
Chipauflagefläche<br />
Reduzierung der<br />
Wandstärke<br />
3,3 x 2,2 2V1 215 Verringerung der<br />
Chipfläche<br />
Reduzierung der<br />
Wandstärke<br />
3,3 x 2,2 4V1 215 Einbringen von<br />
Freistellungen in der<br />
Chipauflagefläche<br />
3,3 x 2,2 4V2 215 Einbringen<br />
zusätzlicher Auswerfer<br />
in Chipnähe<br />
Keine Risse im Chip<br />
erkennbar<br />
Keine Risse im Chip<br />
erkennbar<br />
Form wird gefüllt<br />
Risse im Chip<br />
Form wird gefüllt<br />
Keine Risse im Chip<br />
erkennbar<br />
Form wird gefüllt<br />
Muschelbrüche auf<br />
Chiprückseite<br />
Muschelbrüche auf<br />
Chiprückseite nicht<br />
vollständig beseitigt aber<br />
Auftrittswahrscheinlichkeit<br />
reduziert<br />
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