IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...

IGF Vorhaben Nr. 15462N
Bei der Untersuchung der mit dem Werkzeugeinsatz 4V1 umspritzten Testchips traten
ebenfalls keine sichtbaren Risse auf. Jedoch kam es an der Chipkante, im Bereich der
Auflageflächen im Spritzgusswerkzeug, bei etwa 50% der umspritzten Chips zu
Muschelbrüchen.
Grat
Abbildung 32: Muschelbrüche an der Chipkannte (links) verursacht durch einen Grat in der Chipaufnahme
(Rechts)
Bei Untersuchungen des Werkzeugeinsatzes im REM wurden im Bereich der Freistellung auf
Höhe der Chipauflagefläche kleine Grate festgestellt. Die Auswirkungen dieser Grate sind
schematisch in Abbildung 33 dargestellt.
Chip
Anschlag
Grat
Chip
Anschlag
Chipauflagefläche
Chipauflagefläche
Abbildung 33: Schematische Darstellung Grat im Freistich
Als mögliche Ursache für die Muschelbrüche wurde angenommen, dass die vorhandenen
Auswerferstifte zu weit vom Chip entfernt sind. Dadurch kommt es beim Auswerfen des
Substrats aus dem Spritzgusswerkzeug zu einer ungleichmäßigen Entformung, was dazu
führt, dass der Chip auf den Grat gedrückt wird was dann zum Muschelbruch führt.
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