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IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...

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<strong>IGF</strong> Vorhaben Nr. <strong>15462</strong>N<br />

Nach dem Umspritzen der Chips mit dem Werkzeugeinsatz 2V1 wurden die Substrate<br />

ebenfalls mit Querschliffen und Lichtmikroskopie untersucht (Abbildung 27).<br />

Thermoplast<br />

Riss<br />

Chip<br />

Chip<br />

Abbildung 27: Mit Werkzeugeinsatz 2V1 umspritzter Chip<br />

Auch die mit Werkzeugeinsatz 2V1 umspritzten Chips wiesen Risse im Bereich der<br />

angussfernen Chipaufnahme auf. Weiterhin ist in Abbildung 27 ersichtlich, dass die<br />

Schichtdicke des Thermoplasten über dem Chip auf unter 220µm reduziert werden konnte<br />

und die Spritzgussform zuverlässig gefüllt wurde.<br />

Parallel zu diesen Untersuchungen wurden im ersten Werkzeugeinsatz 1V1 Freistellungen in<br />

die Chipaufnahme eingebracht (Abbildung 28).<br />

27

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