IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...

IGF Vorhaben Nr. 15462N
hinsichtlich der Bindenähte erreichbar sein könnte, könnte das Einbringen von Fließbremsen
sein (Abbildung 24).
Fließbremsen
Abbildung 24: Schematische Darstellung der Fließbremsen im Werkzeugeinsatz
Die Simulation zeigte jedoch, dass der Einfluss der Fließbremsen nicht ausgereicht hätte, um
die Bindenähte zu vermeiden. Weiterhin hätten die Fließbremsen zusätzliche Einfallstellen
auf der Substratoberseite zur Folge gehabt. Weitere Untersuchungen zur Bindenahtthematik
wurden vorerst nicht durchgeführt.
Nach dem Umspritzen der Chips wurden Querschliffe von den Substraten angefertigt. In den
Querschliffen war zu sehen, dass bei allen Substraten die Chips während des
Umspritzprozesses in der Chipaufnahme verblieben sind, so dass auf zusätzliche
Niederhalter verzichtet werden kann. Weiterhin war ersichtlich, dass ein Großteil der Chips
im Bereich der angussfernen Chipaufnahme beim Umspritzen beschädigt wurde.
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