IGF-Projekt - 15462 N - Chipumspritzen - Mikroaufbautechnik am ...
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<strong>IGF</strong> Vorhaben Nr. <strong>15462</strong>N<br />
Für eine genaue Widerstandsbestimmung von Einzelvias ohne den Einfluss von<br />
Messleitungen ist eine 4-Leiter-Messung notwendig (Abbildung 4).<br />
Viawiderstand<br />
Abbildung 4: Schema der 4-Leiter-Messung <strong>am</strong> Demonstrator<br />
Zur Durchführung der Daisy-Chain und 4-Leiter-Messungen wurden zum Chiplayout<br />
kompatible Teststrukturen auf dem MID entworfen. Abbildung 5 zeigt ein mögliches Layout<br />
für eine Daisy-Chain-Messung an dem Demonstrator.<br />
Abbildung 5: Beispiel für Layout der Daisy-Chain-Messung<br />
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