TSQ-Serie

Turbomolekularpumpe
Vorpumpe
2 Funktionsbeschreibung
Massenspektrometer
• einen Anschluss für die an die Linsen L21, L22, L23, L31, L32 und L33 anzulegenden
Spannungen
• einen Anschluss für die an die Linsen L0, L11 und L12 anzulegenden Spannungen
• einen Anschluss für die an die Ionenoptiken Q00 und Q0 anzulegenden HF-Spannungen
• einen Anschluss für die Offsetspannungen der Tube Lens, Ionentransferkapillare sowie Heizung
für die Ionentransferkapillare
• einen Vakuumanschluss zur Messung des Drucks im Analysatorbereich mithilfe des Ionensensors
• einen Gasanschluss zum Einlass von Argon in die Kollisionszelle
• den Lüftungseinlass zum Belüften des Systems
Zwei herausnehmbare Seitenplatten auf der linken Seite der Vakuumkammer ermöglichen den Zugang
zur Q0-Ionenoptik, dem Massenanalysator und dem Ionendetektor. Zwei elektrisch leitende O-Ringe
schließen den Übergang von den Seitenplatten zur Vakuumkammer luftdicht ab.
Eine Dreifachanschluss-Turbomolekularpumpe vom Typ Leybold TW220/150/15S sorgt für die
Herstellung eines Vakuums in den Bereichen der Ionenoptiken Q0 und Q00 sowie dem
Analysatorbereich der Vakuumkammer. Die Turbomolekularpumpe sitzt auf der Oberseite der
Vakuumkammer (siehe Abbildung 31).
Die Turbomolekularpumpe besitzt drei Gasanschlüsse:
• den Hochvakuumanschluss oben am Rotorstapel, zur Evakuierung der Analysatorkammer
• den Zwischenstufenanschluss in der Mitte des Rotorstapels, zur Evakuierung der
Q0-Ionenoptikkammer
• einen dritten Anschluss im molekularen Absaugbereich der Pumpe, zur Evakuierung der
Q00-Ionenoptikkammer
Die Turbomolekularpumpe wird von einem Leybold TDS-Controller gesteuert und mit einer
Betriebsspannung von +24 V (250 W) versorgt. Die Betriebsspannung für die Turbomolekularpumpe
wird vom Netzhaupt- und dem Vakuumsystem-Serviceschalter und nicht vom
Elektronik-Serviceschalter zu- und abgeschaltet. Die Pumpe wird von einem Ventilator luftgekühlt, der
Luft von der Gerätevorderseite ansaugt.
Die Turbomolekularpumpe wird abgeschaltet, wenn der vom Convectron-Messsystem gemessene
Druck in der Vorleitung oder die Pumpentemperatur zu hoch ist.
Eine (TSQ Quantum Access und TSQ Quantum Access MAX) bzw. zwei (TSQ Vantage und TSQ
Quantum Ultra) Vorpumpen vom Typ Edwards E2M30 stellen das für den ordnungsgemäßen
Betrieb der Turbomolekularpumpe erforderliche Vakuum her. Die Vorpumpe evakuiert auch das
Einlassventil und die Kollisionszelle. Die Pumpe besitzt eine maximale Verdrängungskapazität von
650 l/min und unterhält einen Mindestdruck von 1 Pa (0,01 Torr).
Thermo Scientific TSQ-Serie - Gerätehandbuch 39