Innovationspreis - BOA - Baden-Württembergisches Online-Archiv

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Korrektor für höchstauflösende
Elektronenmikroskope
CEOS Corrected Electron Optical Systems GmbH
Heidelberg
Mit der systematischen und mathematisch fundierten Entwicklung immer besserer
Lichtmikroskope vor ca. 150 Jahren wurde der Grundstein gelegt für den Vorstoß in
den Mikrokosmos. Durch die Erfindung des Elektronenmikroskops vor mehr als 70
Jahren wurde das Tor zum „Nanokosmos“ geöffnet. Das Vordringen in die atomare
Welt, d. h. die Sichtbarmachung der Atome, wurde aber durch die unzureichende
Qualität der elektronenoptischen Linsen über lange Zeit begrenzt und nur durch aufwändige
Bildgebungsverfahren oder sehr teure Hochspannungsmikroskope (deren
Elektronen eine noch kleinere Wellenlänge besitzen) ermöglicht.
Für die heutige Materialforschung, Halbleiterentwicklung und Nanotechnologie ist der
„Blick“ in den atomaren Aufbau der Materie eine wichtige Voraussetzung, um über
Abbildungsverfahren und analytische Techniken mit atomarer Auflösung ein besseres
Verständnis des Aufbaus und den damit verbundenen Materialeigenschaften im sub-
Nanometer Bereich zu gewinnen. Durch die von CEOS entwickelten und gefertigten
Korrektoren, die von den Herstellern von Elektronenmikroskopen weltweit eingesetzt
werden, gelang es, die Auflösung moderner Elektronenmikroskope unter die Grenze
von 0,1 nm zu drücken.
Links: Transmissionselektronenmikroskop mit Korrektor
Rechts: Siliziumprobe mit Defekten in der Kristallstruktur
Innovationspreis des Landes Baden-Württemberg