MOCVD Basiswissen für Neueinsteiger - Aixtron
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Close Coupled Showerhead ® -Technologie<br />
Bei der Close Coupled Showerhead ® -Technologie werden Chemikalien vertikal in<br />
die Prozesskammer eingebracht, wo sie sich dann zu Kristallen formen.<br />
Im Close Coupled Showerhead ® -Reaktor werden die Gase durch viele kleine<br />
Öffnungen im Reaktordeckel vertikal eingelassen – ähnlich wie ein Duschkopf im<br />
Badezimmer funktioniert. Das Design des Showerheads stellt sicher, dass die Prozessgase<br />
sehr ebenmäßig über die gesamte Oberfläche der Waferteller verteilt werden.<br />
Da sich der Showerhead nah an den erhitzten Wafern befindet, spalten sich die<br />
Chemikalien sehr schnell auf und diffundieren durch die Gasphase auf der Waferoberfläche.<br />
Die Art und Weise, wie die Gase Einlass finden und auf die Wafer gelangen, ist bei<br />
beiden Technologien unterschiedlich. Die Ergebnisse sind bei beiden Prozessen<br />
jedoch vergleichbar.<br />
Close Coupled Showerhead ® – 55x2-Zoll<br />
Showerhead<br />
AIXTRON <strong>MOCVD</strong>-Anlagenplattform<br />
Beide Reaktortechnologien (Planetary Reactor ® und Close Coupled Showerhead ® )<br />
können in unsere Anlagen-Plattformen eingebaut werden. Das IC-Konzept (IC bedeutet<br />
„Integrated Concept“) dieser Plattformen ist extrem modular und sehr flexibel<br />
gestaltet.<br />
Das Plattformkonzept erlaubt, nicht nur beide Reaktortypen in nur einem einzigen<br />
Anlagentypus Kosten sparend und effizient anzubieten, sondern lässt ebenfalls<br />
genug Spielraum <strong>für</strong> die Umsetzung von maßgeschneiderten Kundenwünschen.<br />
Im Herzen der Anlage, der Reaktorkammer, findet also die jeweils gewünschte Art<br />
von Beschichtungsprozess statt. Hier werden die Halbleiterschichten auf die aufliegenden<br />
Substrate (Wafer) aufgebracht – bei unterschiedlichen Temperaturen (bis hin<br />
zu ca. 1.200°C).<br />
AIXTRON IC-Anlagenplattform<br />
Reaktorkammer <strong>für</strong> Planetary Reactor ® - und Close Coupled Showerhead ® -Technologie<br />
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