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Radiation Hardness Studies of Monolithic Active Pixel Sensors ...

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70 KAPITEL 5. DIE STRAHLENHÄRTESTUDIE<br />

T[°C]<br />

+80°C<br />

+20°C<br />

Neutron<br />

radiation<br />

1 year<br />

2h transport<br />

X-ray<br />

radiation<br />

Measurements and<br />

storage at +20°C<br />

(280h)<br />

Heating at +80°C (73h)<br />

Measurements and storage<br />

at +20°C (191h)<br />

Abbildung 5.8: Die den Sensoren zugrundeliegende Temperaturhistorie, siehe Text.<br />

Time<br />

5.2.2 Ausheilung von Volumenschäden, Oberflächenschäden und Oberflächenschäden<br />

in Anwesenheit von Volumenschäden<br />

Um den Ausheilprozess von Oberflächenschäden in An- und Abwesenheit von Volumenschäden<br />

zu untersuchen, wurden ein unbestrahlter und ein mit 1,3 · 1013 neq<br />

cm2 vorbestrahlter MIMOSA-19<br />

bei Raumtemperatur jeweils mit einer ionisierenden Dosis von 200 kRad bestrahlt. Diese Bestrahlung<br />

wurde mit der ∼ 10 keV Röntgenquelle des KIT (siehe Abschnitt 4.2.2) durchgeführt.<br />

Die Dosimetrie wurde vom Personal des Instituts vorgenommen und hat eine Genauigkeit von<br />

15 %.<br />

Die Temperaturhistorie der Sensoren wird in Abbildung 5.8 schematisch dargestellt. Direkt nach<br />

der Röntgenbestrahlung wurden die Sensoren ins Labor geschickt. Nach zwei Stunden Transport<br />

bei Raumtemperatur wurden die Eigenschaften der Sensoren zum ersten Mal gemessen. Die<br />

Messung wurde dann in regelmäßigen Abständen wiederholt, während die Chips bei Raumtemperatur<br />

(T ≈ +20◦C) in Stickst<strong>of</strong>fatmosphäre gelagert wurden. Nach 280 Stunden wurden die<br />

Sensoren zusätzlich zur Lagerung bei Raumtemperatur für insgesamt 73 Stunden in einem Ofen<br />

bei T = +80◦C ausgeheilt, um den Einfluss einer höheren Temperatur auf den Ausheilprozess<br />

zu studieren. Um die Eigenschaften des <strong>Sensors</strong> bei T = +20 ◦C messen zu können, wurden<br />

die Chips in definierten Abständen wieder abgekühlt, so dass letztlich zu den 73 Stunden bei<br />

T = +80◦C noch 191 Stunden Lagerung bei Raumtemperatur hinzukommen1 .

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