Deutsch - Über Heraeus

Quarzglas ist einer der außergewöhnlichsten Werkstoffe
in Industrie und Forschung. Viele Hightech-
Anwendungen verdanken diesem Material sogar ihren
Durchbruch: etwa die Mikrochip-Herstellung, die optische
Datenübertragung mittels Lichtleitfasern oder
die moderne Präzisionsoptik und Lasertechnik. Starke
Partnerschaften helfen, das Hightech-Produkt noch
perfekter zu machen.
technology report 2008 technology report 2008
kein gewöhnlich
Glas ich bin ...
Reines Quarzglas besteht lediglich aus Silizium und Sauerstoff
(SiO 2). Äußerlich ist es kaum von herkömmlichem
Glas zu unterscheiden, besitzt jedoch signifikant andere
Eigenschaften, wie chemische, Temperatur- sowie Strahlungsbeständigkeit
und optische Durchlässigkeit.
„Quarzglas zählt zu den reinsten technischen Werkstoffen,
die bis heute Zugang in die Industrie gefunden haben.
Bereits geringste Verunreinigungen können in den Anwendungen
zu erheblichen Prozessstörungen bzw. Totalausfällen
führen“, sagt Dr. Ralf Takke, Vice President Division
Optics bei Heraeus Quarzglas. Der Konzernbereich ist
einer der wenigen Spezialisten, der diesen außergewöhnlichen
und faszinierenden Werkstoff in allen Facetten beherrscht
und ihn mit allen gängigen Produktionsprozessen
in Qualitäten erzeugt, die weltweit einzigartig sind. Mit
über 5000 Standardprodukten für die Halbleiterbranche
zählt der Quarzglasspezialist zu den Technologieführern
bei Anwendung, Produktengineering, Reparatur, Messtechnik,
Reinigung und Recycling von Quarzglas.
Dieses Know-how ist auch in der Halbleiterherstellung
speziell in der Mikrolithografie gefragt. Bei der Mikrolithografie
werden über verschiedene Fotomasken die
bis zu 45 Nanometer (ein Nanometer entspricht dem
Millionstel eines Millimeters) kleinen Strukturen der
hochkomplexen integrierten Schaltungen auf den Silizium-
Wafer projiziert. Linsensysteme aus blasenfreiem, optisch
höchst homogenem Quarzglas bilden dabei die winzigen
Chip-Strukturen ab. „Aber das ist gewissermaßen schon
Standard. Quarzglas spielt auch bei der nächsten Evolutionsstufe
der Mikrolithografie, der Immersionslithografie,
eine grundlegende Rolle“, ist Quarzglasexperte Takke
zuversichtlich.
werkStoffe
Hightech-Material Quarzglas erledigt Spezialaufträge
und ermöglicht Nanolithografie
Langjährige Partnerschaft fördert und fordert Innovationen
Seit 1989 beliefert Heraeus Quarzglas das Optikunternehmen
Carl Zeiss SMT mit hochwertigen Quarzglasscheiben,
die in der Mikrolithografie in den Optiken von Excimer-Laser
Steppern für die industrielle Chipfertigung zum Einsatz
kommen. Carl Zeiss SMT stellt modernste Optiksysteme
für die Lithografie her. Die bis zu einem Meter hohen,
komplexen Linsensysteme sind das Herzstück von Waferscannern,
speziellen Produktionsanlagen, ohne die Mikrochips
für elektronische Geräte wie Laptops, Mobiltelefone
oder Spielekonsolen nicht hergestellt werden könnten.
Starke Partner: Dr. Andreas Dorsel (links) von Carl Zeiss SMT und
Dr. Ralf Takke von Heraeus.
Die Objektive enthalten bis zu 100 Kilogramm Quarzglas
höchster Reinheit, mit Verunreinigungen im sub-ppb-Bereich.
Für die Entwicklung der ersten Immersionsoptiken
für die industrielle Chipfertigung vom Typ „Starlith 1700i“
wurde Carl Zeiss SMT sogar mit dem Innovationspreis der
deutschen Wirtschaft für 2006 ausgezeichnet. Bei der
preisgekrönten Optik kommt das Quarzglas Suprasil ® 401
zum Einsatz.
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