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Sensorik, Mess- und Prüftechnik | Sensoren<br />

<strong>Berührungslos</strong> <strong>zum</strong> <strong>exakten</strong> <strong>Ergebnis</strong><br />

Von Johann Salzberger, Micro-Epsilon Messtechnik<br />

Haben Sie noch den Überblick für die Erfassung von Weg und Temperatur? Welcher<br />

Sensortyp ist der richtige, der schnellste, der präziseste, welche Vor- und Nachteile<br />

haben die verschiedenen Prinzipien? K&E bringt Licht ins Dunkel.<br />

ensoren müssen häufig in widrigsten Umgebungen sicher arbeiten.<br />

Sie werden in Öl, bei heißen Dämpfen oder wechselnden<br />

Temperaturen verwendet. Genauso ist es aber möglich, dass<br />

Sensoren an stark vibrierenden Teilen, in starken elektromagnetischen<br />

Feldern verwendet werden oder ein gewisser Abstand <strong>zum</strong> Objekt nötig<br />

ist. Wichtige Einsatzkriterien sind Genauigkeit und Temperaturstabilität,<br />

Auflösungsvermögen und Grenzfrequenz. Jedes Messprinzip<br />

hat charakteristische Eigenschaften, die in gewissen Situationen als<br />

Vor- oder Nachteil ausgelegt werden können.<br />

Das Prinzip Wirbelstrom<br />

SPEzial<br />

Das Wirbelstromprinzip ist im eigentlichen Sinne dem induktiven<br />

Messverfahren zuzuordnen. Der Effekt zur Messung via Wirbelstrom<br />

beruht auf dem Entzug von Energie aus einem Schwingkreis. Diese<br />

Energie ist zur Induktion von Wirbelströmen in elektrisch leitfähige<br />

Materialien nötig. Hierbei wird eine Spule mit Wechselstrom gespeist,<br />

worauf sich ein Magnetfeld um die Spule ausbildet. Befindet sich<br />

ein elektrisch leitender Gegenstand in diesem Magnetfeld, entste-<br />

62 Konstruktion & Entwicklung 07 | 2009<br />

Moderne<br />

Infrarotsensoren<br />

werden<br />

immer häufigerverwendet,<br />

da sie<br />

berührungslos<br />

und sehr<br />

schnell arbeiten.<br />

hen darin – gemäß dem faradayschen<br />

Induktionsgesetz – Wirbelströme. Das<br />

Eigenfeld dieser Wirbelströme wirkt<br />

entsprechend der Lenz’schen Regel<br />

dem Feld der Spule entgegen, was eine<br />

Änderung der Spulenimpedanz nach<br />

sich zieht. Diese abstandsabhängige<br />

Impedanzänderung lässt sich durch<br />

Amplitudenänderung der Sensorspule<br />

als messbare Größe am Controller abgreifen.<br />

Das Verfahren ist bei allen elektrisch<br />

leitenden Materialien einsetzbar.<br />

Da Wirbelströme Isolatoren ungehindert<br />

durchdringen, können sogar Metalle<br />

hinter einer isolierenden Schicht<br />

als Messobjekt dienen.<br />

Dennoch unterliegen Wirbelstromsensoren<br />

einigen Einschränkungen in der<br />

Anwendung. Das Ausgangssignal ist von


den elektrischen und magnetischen Eigenschaften des Messobjektes<br />

abhängig. Für jede Applikation ist daher beispielsweise eine individuelle<br />

Linearisierung und Kalibrierung notwendig. Diese besondere<br />

Linearisierung verhilft den eddyNCDT Sensoren von Micro-Epsilon<br />

zu einer hohen Auflösung von wenigen Nanometern. Zu beachten ist,<br />

dass mit steigendem Messbereich auch die Sensorgröße wächst und<br />

damit auch der Messfleck.<br />

Das kapazitive Messprinzip<br />

Beim kapazitiven Messprinzip agieren Sensor und Messobjekt wie ein<br />

idealer Plattenkondensator. Durchfließt ein Wechselstrom konstanter<br />

Frequenz den Sensorkondensator, so ist die Amplitude der Wechselspannung<br />

am Sensor dem Abstand <strong>zum</strong> Messobjekt (Masse-Elektrode)<br />

proportional. Durch den Aufbau der Sensoren als Schutzringkondensatoren<br />

erreicht man in der Realität nahezu eine ideale Linearitätskennlinie.<br />

Für eine konstante Messung ist jedoch eine gleichbleibende<br />

Dielektrizitäts-Konstante zwischen Sensor und Messobjekt die Prämisse,<br />

das System reagiert äußerst empfindlich auf Änderungen des<br />

Dielektrikums im Messspalt. Da thermisch bedingte Leitfähigkeitsänderungen<br />

keinen Einfluss auf die Messung haben, ist das Prinzip auch<br />

bei starken Temperaturschwankungen stabil. Die kapazitiven Sensoren<br />

capaNCDT zählen laut Hersteller zu den präzisesten überhaupt. Es<br />

werden Auflösungen von weniger als einem Nanometer erzielt. Bei<br />

kapazitiven Sensoren ist immer auf eine saubere Umgebung zu achten.<br />

Wie auch bei Wirbelstromsensoren steigen die Sensordimensionen<br />

mit dem Messbereich und damit die Messfleckgröße.<br />

Das Prinzip der lasertriangulation<br />

Eine Laserdiode emittiert einen Laserstrahl, der auf das Messobjekt<br />

gerichtet ist. Die dort reflektierte Strahlung wird über eine Optik entweder<br />

auf eine CCD- / CMOS-Zeile oder auf ein PSD-Element abgebildet.<br />

Aus der Lage des Lichtpunktes auf dem Empfangselement wird der<br />

Abstand des Objekts <strong>zum</strong> Sensor berechnet. Die Daten werden, je nach<br />

Ausführung, über den externen oder internen Controller ausgewertet<br />

und über verschiedene Schnittstellen ausgegeben. Analoge Sensoren<br />

arbeiten mit einem PSD-Element, digitale benutzen entweder<br />

ein CCD- oder ein CMOS-Element. PSDs messen die Lichtmenge,<br />

die vom Messobjekt reflektiert wird. Wird die Form des Lichtpunktes<br />

durch Änderungen der Reflexionseigenschaften des Objekts, durch<br />

Verkippung oder das Umgebungslicht geändert, hat dies Auswirkung<br />

auf den gemessenen Wert. Bei digitalen Sensoren werden durch die<br />

Reflexion einzelne Pixel auf der CCD / CMOS Zeile beleuchtet. Aus der<br />

Verteilung der beleuchteten Pixel und dessen Intensitätswerte berechnet<br />

der integrierte Microcontroller mit aufwendigen Algorithmen den<br />

Abstand <strong>zum</strong> Messobjekt. Umgebungseinflüsse und unterschiedliche<br />

Oberflächeneigenschaften haben daher nur minimalen Einfluss auf das<br />

Messergebnis. Die RTSC (Real Time Surface Compensation) von Micro-<br />

Epsilon passt dabei die Laserleistung in Echtzeit für jeden Messwert an<br />

und sorgt dafür, dass auch bei schnell wechselnden Oberflächeneigenschaften<br />

stabile Messergebnisse erreicht werden. Der Grundabstand<br />

(Strecke von der Unterseite des Sensors <strong>zum</strong> Messbereichsanfang ist<br />

für heiße oder sich stark bewegende Messobjekte ein unschätzbarer<br />

Vorteil, dass aus größerer Entfernung gemessen werden kann.<br />

Das konfokal-chromatische Messprinzip<br />

Polychromes Licht (Weißlicht) wird, ausgehend von der Lichtquelle in<br />

der Auswerteeinheit, über einen Lichtwellenleiter <strong>zum</strong> Sensor übertragen.<br />

Die dort befindlichen Linsen sind so angeordnet, dass durch<br />

kontrollierte chromatische Abweichung das Licht in Längsrichtung der<br />

optischen Achse in monochromatische Wellenlängen aufgeteilt wird.<br />

Diese Optik fokussiert das Lichtbündel auf die Messobjektoberfläche.<br />

Abhängig vom Abstand befinden sich damit unterschiedliche Spektralfarben<br />

im Fokus. Im Sensorsystem wird diejenige Lichtwellenlänge<br />

zur Messung herangezogen, die sich exakt<br />

auf dem Messobjekt fokussiert. Das<br />

von diesem Punkt reflektierte Licht wird<br />

über eine optische Anordnung auf ein<br />

lichtempfindliches Sensorelement abgebildet,<br />

auf der die zugehörige Spektralfarbe<br />

erkannt und ausgewertet wird.<br />

Durch eine werkseitige Kalibrierung<br />

wird jeder Wellenlänge ein definierter<br />

Abstandspunkt zugeordnet. Dieses<br />

Prinzip erlaubt eine Messung auf<br />

nahezu allen Oberflächen. Bei transparenten<br />

Materialien kann sogar eine<br />

Dickenmessung mit nur einem Sensor<br />

erfolgen, indem auch das Spektrum der<br />

zweiten Oberfläche interpretiert wird.<br />

Weil die verschiedenen Wellenlängen<br />

des Lichts als Medium verwendet werden,<br />

bietet dieses Verfahren eine extrem<br />

hohe Auflösung im Nanometerbereich.<br />

1<br />

2<br />

3<br />

1 | Mit Wirbelstromsensoren<br />

kann auch durch Kunststoff<br />

gemessen werden<br />

2 | Beim kapazitiven Messprinzip<br />

fungieren Sensor<br />

und Messobjekt als Elektroden<br />

eines Kondensators<br />

3 | Laser-Triangulationssensoren<br />

werden am häufigsten<br />

verwendet. Wichtigste<br />

Vorteile sind der kleine<br />

Messfleck und der große<br />

Grundabstand.<br />

Konstruktion & Entwicklung 07 | 2009 63


Moderne Infrarotsensoren<br />

werden immer häufiger<br />

verwendet,<br />

da sie berührungslos und<br />

sehr schnell arbeiten.<br />

Bilder: Micro-Epsilon<br />

Tabelle: Bei Serienprodukten<br />

realisierte<br />

Daten<br />

SPEzial<br />

Laserschutzmaßnahmen sind nicht erforderlich. Auch hier gilt eine<br />

saubere Umwelt <strong>zum</strong>indest im Strahlengang als obligatorisch. Einschränkend<br />

gilt für dieses Verfahren die begrenzte Distanz zwischen<br />

Sensor und Messobjekt.<br />

Seilzugsensoren<br />

Seilzugsensoren funktionieren wie ein Maßband, bei dem allerdings<br />

die Weg- bzw. Abstandsinformation nicht mit dem Auge abgelesen,<br />

sondern als elektrisches Signal ausgegeben wird. Die wesentlichen Elemente<br />

sind neben dem Gehäuse, die Feder, die Trommel, das Messseil<br />

und ein Winkelmesser als Sensorelement. Das Messseil wird am zu<br />

messenden Bauteil befestigt und bei einer Bewegung von der Trommel<br />

auf- oder abgewickelt. Dadurch wird die lineare Bewegung in eine<br />

rotatorische konvertiert, die dann vom jeweils verwendeten Winkelsensor<br />

erfasst wird. Verringert sich der Messabstand, wird das Messseil<br />

selbstständig wieder auf die Trommel gewickelt. Die dafür notwendige<br />

Kraft wird von einer vorgespannten Triebfeder bereitgestellt. Diese<br />

Teleskopierbarkeit ist ein wichtiger Vorteil. Die Seilspannung ist dabei<br />

so groß, dass auch bei waagrechter Montage der Seildurchhang minimiert<br />

und das Messergebnis kaum beeinflusst wird. Seilzugsensoren<br />

bieten einen sehr kleine Bauform im Vergleich <strong>zum</strong> Messbereich und<br />

sind durch die eingesetzten Bauteile sehr robust ausgeführt. Ganz entscheidend<br />

ist der schnelle und einfache Einbau der Sensoren, gepaart<br />

mit ihrer Flexibilität hinsichtlich Messbereiche und Anschlussmöglichkeiten.<br />

Aufgrund der Verwendung verschleißbehafteter Bauteile<br />

wie Potentiometern und Seilen ist die Lebensdauer begrenzt.<br />

induktive Sensoren<br />

64 Konstruktion & Entwicklung 07 | 2009<br />

Sensorik, Mess- und Prüftechnik | Sensoren<br />

Der induktive Sensor bedient sich des LVDT Prinzips (Linear Variabler<br />

Differential Transformer) und besteht aus einer primären und zwei<br />

sekundären Spulen mit einem gemeinsamen, beweglichen weichmagnetischen/ferromagnetischen<br />

Magnetkern. Ein Oszillator regt die<br />

Primärspule mittels Wechselstrom konstanter<br />

Frequenz an. Daraufhin werden<br />

Spannungen in die beiden sekundären<br />

Spulen induziert, deren Amplituden<br />

von der Position des Kerns abhängen.<br />

Eine Bewegung des Kerns erzeugt eine<br />

steigende Amplitude in einer Sekundärspule<br />

bzw. eine fallende Amplitude<br />

in der anderen Sekundärspule. Die<br />

Differenz zwischen den beiden Sekundärspannungen<br />

ist proportional dem<br />

Weg. Bekannte und geschätzte Vorteile<br />

der induktiven Wegsensoren sind Robustheit,<br />

da das Gehäuse vollständig in<br />

Metall ausgeführt werden kann, sowie<br />

Zuverlässigkeit bei rauen Bedingungen,<br />

hohe Signalgüte und Temperaturstabilität.<br />

Die Bandbreite ist auf etwa 300 Hz<br />

begrenzt und damit sind diese Sensoren<br />

eher nicht für schnelle Prozesse zu<br />

bevorzugen. Der Spulenkern ist immer<br />

metallisch, weshalb sich magnetische<br />

Einflüsse auf das Messergebnis auswirken.<br />

laser-Distanz Sensoren<br />

Hinter den Laser-Distanz Sensoren<br />

verbergen sich bei Micro-Epsilon zwei<br />

Messprinzipien. Beim Time-of-Flight<br />

Prinzip werden kurze Laserimpulse<br />

hoher Amplitude <strong>zum</strong> Messobjekt gesendet.<br />

Dabei wird die Zeit gemessen,<br />

die der Lichtimpuls benötigt, um das<br />

Messobjekt zu erreichen und zurück<br />

<strong>zum</strong> Empfänger zu gelangen. Die benötigte<br />

Zeit lässt präzise auf den Abstand<br />

schließen. Schnelle Messungen bei großen<br />

Abständen sind damit möglich. Das<br />

zweite Prinzip funktioniert nach dem<br />

Phasen-Vergleichs-Verfahren. Kontinuierliche<br />

Lasersignale mit geringer<br />

Amplitude werden <strong>zum</strong> Messobjekt<br />

gesendet. Je nach Entfernung des Objekts<br />

verändert der Abstand die Phasenbeziehung<br />

zwischen gesendeten und<br />

empfangenen Signal. Sensoren dieses<br />

Prinzips arbeiten mit hoher Genauigkeit<br />

bei mittleren Messabständen. Beste<br />

<strong>Ergebnis</strong>se werden mit diesen Sensoren<br />

auf diffus reflektierende Oberflächen<br />

erzielt. Für eine Erweiterung des Abstandes<br />

kann auch eine spezielle Reflektortafel<br />

verwendet werden. Trotz<br />

der hohen Messbereiche bieten diese<br />

Sensoren eine hohe Genauigkeit. Durch


das optische Messverfahren muss eine Sichtverbindung zwischen<br />

Messobjekt und Sensor bestehen. Sie können durch starken Lichteinfall<br />

aus der Umgebung sowie Rauch, starken Regen und Nebel<br />

beeinflusst werden.<br />

Temperatur messen per infrarot<br />

IR-Sensoren unterscheiden sich im grundlegenden Aufbau kaum. Bedeutender<br />

Bestandteil für Auflösung und Messfleckgröße bei bestimmtem<br />

Abstand ist die IR-Linse, welche die Strahlen auf den IR Detektor<br />

bündelt. Sie legt auch fest, in welchem Verhältnis die Messfleckgröße<br />

<strong>zum</strong> Abstand <strong>zum</strong> Sensor steht. Das Detektorelement ist das Herzstück<br />

des Sensors. Dafür existieren drei physikalisch unterschiedliche<br />

Elemente. Für die Wandlung der Strahlung in elektrische Energie ist<br />

entweder ein Bolometer, ein Thermopile oder ein Quantendetektor<br />

verantwortlich. Anschließend folgt ein Verstärkermodul und ein AD-<br />

Wandler. Je nach Sensor folgt dann weitere Elektronik, um das Signal<br />

zu bearbeiten oder zu stabilisieren. Bei den Sensoren wird generell<br />

zwischen Handgeräten und stationär einsetzbare unterschieden.<br />

Handgeräte eignen sich sehr gut für schnelle und sporadische Messungen<br />

auf Objekte. Sie können zu verschiedenen Objekten mitgenommen<br />

werden, Messwerte speichern und sie später für Dokumentationszwecke<br />

ausgeben. Sie werden häufig für Wartungs- und Kontrollarbeiten<br />

verwendet. In diesem Bereich gibt es verschiedene Leistungsklassen.<br />

Die Geräte decken einen Messbereich zwischen -35°C und 900°C ab. Es<br />

existieren verschiedene Möglichkeiten den Messfleck durch Laser zu<br />

markieren. Stationäre Sensoren für den industriellen Einsatz existieren<br />

mit Messbereiche zwischen -50°C und 1800°C. Den richtigen Sensor<br />

für eine Anwendung bestimmen mehrere Faktoren, unter anderem<br />

sind dies: der Messbereich, das Material und die Größe des Objekts,<br />

die Umgebungstemperatur und der Abstand vom Objekt <strong>zum</strong> Sensor.<br />

Das Angebot gliedert sich in universelle Sensoren für gängige Aufgaben<br />

bzw. high-end Sensoren mit einem Laservisier zur Ausrichtung auf das<br />

Messobjekt. Auch Miniatursensoren mit integriertem Controller für<br />

Serienanwendungen werden angeboten.<br />

Die richtige auswahl treffen<br />

Da für die Vielzahl der verschiedenen Anwendungen auch unzählig<br />

verschiedene Randbedingungen gelten, gibt es keinen Sensor, der für<br />

alle Anwendungen geeignet ist. Alle Verfahren bieten verschiedene<br />

Vorteile und Einschränkungen. Zur Auswahl des richtigen Sensors für<br />

eine spezielle Messaufgabe muss sich der Anwender unter anderem<br />

folgende Fragen stellen:<br />

W Welche Genauigkeit wird benötigt?<br />

W Aus welchem Material besteht das Messobjekt?<br />

W Wie ist die Oberfläche ausgebildet?<br />

W Wie schnell bewegt sich das Objekt?<br />

W Bei welcher Umgebungstemperatur wird der Sensor verwendet?<br />

W Ist die Umgebungstemperatur statisch oder ändert sie sich laufend?<br />

W Was genau soll gemessen werden? Weg, Winkel, Krümmung usw.<br />

W In welchem Medium wird der Sensor eingesetzt?<br />

W Können mechanische Belastungen auftreten?<br />

W Welcher Messbereich wird benötigt?<br />

Diese Liste obligatorischer Fragen ist nur eine Auswahl der möglichen<br />

Kriterien, die bei einer Sensorwahl helfen. Für die Entscheidung für<br />

den richtigen Sensor ist immer ein Spezialist in Sachen Messtechnik zu<br />

Rate zu ziehen, da nur er alle Einflusskriterien abwägen und eine Entscheidung<br />

für eine optimale Sensorwahl treffen kann. Selbstverständlich<br />

ist es hilfreich, wenn vom Anbieter viele verschiedene Prinzipien<br />

vertreten werden, da damit auch die Auswahl und die Möglichkeit für<br />

eine passende Sensorwahl steigt.<br />

MEhr infoS: www.micro-epsilon.de

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