TruPlasma DC Serie 3000 - Trumpf

Perfektion im Blick
TruPlasma DC Serie 3000
TruPlasma DC Serie 3000

HÜTTINGER – Innovationen auf einer höheren Ebene.
Für anspruchsvolle Beschichtungsprozesse:
TruPlasma DC Serie 3000.
TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputterprozessen
entwickelt. Erhältlich mit Ausgangsleistungen von 2 bis 120 Kilowatt
(kW), liefern diese Generatoren ihre Leistung konstant über einen
breiten Lastanpassungsbereich. Sie bewähren sich im rauen, industriellen
Betrieb und sind daher ideal für Beschichtungsprozesse geeignet,
in denen Zuverlässigkeit und Leistung gefordert werden. Solche
Anwendungen sind die Herstellung von Halbleitern, das Beschichten
von Architekturglas und die Fertigung von Solarzellen. Schlüsselkomponente
ist die TruPlasma DC Serie 3000 auch bei Hartstoff-, dekorativen
und optischen Beschichtungsprozessen.
Eigenschaften
Breites Leistungs- und Frequenzspektrum
Innovatives Arc-Management mit äußerst schneller
Reaktionszeit und minimaler Restenergie
Variabel einstellbares Arc-Management
Breite Palette an Datenschnittstellen
Hohe Zuverlässigkeit und Lebensdauer
Das integrierte Arc-Management DetectLine und CompensateLine
erzielt auch bei anspruchsvollen Prozessen hervorragende Ergebnisse
hinsichtlich Schichtqualität und Abscheidungsrate. Die äußerst niedrige
Restenergie und schnelle Reaktionszeit der TruPlasma Serie 3000
(luftgekühlt) ermöglicht die Herstellung besonders dünner und homo-
gener Schichten. Dank CompensateLine wird im Arc-Fall die in den Ausgangsleitungen
gespeicherte Restenergie weitgehend kompensiert.
Die kompakte Größe der Generatoren gestattet den Einsatz bei kleinen
Nutzflächen. Die wassergekühlte Version der TruPlasma Serie 3000
ist modular aufgebaut. Sie gestattet die Zusammenschaltung von bis
zu vier Einzelmodulen als Master-Slave-System mit einer resultierenden
Gesamtleistung von 120 kW. Das störungssichere Design der
TruPlasma DC Serie 3000 maximiert Prozesslaufzeiten und reduziert
so Produktionskosten.
Nutzen
Große Prozess- und Anwendungsvielfalt
Ermöglicht dünnste homogene Schichten
Hohe Beschichtungsraten auch bei kritischen Prozessen
Einfache Integration in Anlagen und Systeme
Minimale Stör- und Wartungsanfälligkeit

TruPlasma DC Serie 3000 (luftgkühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (wassergekühlt)
Ausgangsdaten
Ausgangsleistung 2 kW bis 120 kW
Ausgangsspannung Bis zu 600 V
Ausgangsstrom 5 A bis 600 A
Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg
Tastverhältnis 100 %
Regelung bei
Netzschwankung
± 10 %, bei Last
10 % – 90 %
Genauigkeit ± 0,5 %
Wiederholgenauigkeit
± 0,2 %
Zündspannung Bis zu 1 500 V
Ausgangspolung Negativ, positiv 1 , fließend 1
Lastimpedanz 5,3 Ω – 21,2 Ω (1:4) volle Leistung
1) Auf Anfrage verfügbar.
Arc Parameter
Arc Erkennung < 500 ns
I max Erkennung Var. l max Schwelle: 10 % – 130 %
Kreuzerkennung (U x I) Var. U x Schwelle: 0 V – 600 V
Var. l x Schwelle: 10 % – 100 %
Dynam. Spannungsveränderung Var. dU threshold: 0 V – 600 V
Arc Handling-Kapazität Bis zu 8 kARC/s 2
2) Abhängig vom Gerät. Standard: 2 kARC/s
V/P Diagramm
DC Ausgangsleistung in %
100
0
I
Maximum
DC Ausgangsstrom
400
Ausgangsspannung in V
V/I Diagramm
DC Ausgangsstrom in %
100
50
0
I
Maximum
DC Ausgangsstrom
400
Ausgangsspannung in V
a) Anpassbare Zündspannung.
II
Nennausgangs-
leistung
800
II
Nennausgangsleistung
III
Maximum
DC Ausgangsspannung
IV
Zündspannung a
1 500
IV
Zündspannunga III
Maximum
DC Ausgangsspannung
800 1 500
V/P Diagramm
DC Ausgangsleistung (kW)
30
II
Maximum
DC Ausgangs-
20
strom
V/I Diagramm
DC Ausgangsstrom (A)
Ausgangsdaten
Ausgangsleistung 10 kW, 15 kW, 20 kW, 30 kW
Ausgangsspannung 1000 V (10 kW, 15 kW, 20 kW)
800 V (30 kW)
Ausgangsstrom max. 25 A, 37,5 A, 50 A, 75 A 3
Regelarten Leistung, Spannung, Strom, Energie
3) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“.
Regelung
Leistung max. 6 % – 100 % ± 1 %
Spannung max. 3 % – 100 % ± 1 %
Strom max. 3 % – 100 % ± 1 %
Wiederholgenauigkeit ± 0,5 %
Arc Parameter
Restenergie < 9 mJ/kW
Abschaltverzögerung 1 μs – 100 ms
Arc-Pause 10 μs - 100 ms
III
Nennausgangsleistung
I
Minimum
DC Ausgangsspannung
0
0 40
400
DC Ausgangsspannung (V)
a) Anpassbare Zündspannung. 30 kW, 800 V-Version 20 kW, 1 000 V-Version
75
50
II
Maximum
DC Ausgangsstrom
800
1 000
III
Nennausgangsleistung
30 kW, 800 V-Version 20 kW, 1 000 V-Version
IV
Maximum
DC Ausgangsspannung
V
Zündspannung
1 500
37,5
I
IV
20
Minimum
DC Ausgangsspannung
Maximum
DC Ausgangsspannung
V
Zündspannung
0
0 40
400
800 1 000
1 500
DC Ausgangsspannung (V)

Eingangsdaten
Netzspannung 3 x 400 V ± 10 %
3 x 380 V ± 10 % 4
3 x 208 V ± 10 % 4
Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5%
Wirkungsgrad 87 % – 92 %
Leistungsfaktor 0,92 – 0,94
4) Auf Anfrage für luftgekühlte Geräte verfügbar.
Kühldaten
Luftgekühlte Version
Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung
Max. Lufteingangstemperatur +35 °C
Wassergekühlte Version
Max. Eingangsdruck 6 bar
Min. Differenzdruck 2 bar
Durchflussmenge 6 l/min
Max. Kühlwassertemperatur +35 °C
Umgebungsbedingungen
Temperatur +5 °C to +40 °C Betrieb
-25 °C to +55 °C Lagerung
-25 °C to +70 °C Transport
Rel. Luftfeuchtigkeit 5 5 % – 85 % Betrieb
5 % – 95 % Lagerung
95 % Transport 6
Luftdruck7 800 hPa – 1 013 hPa Betrieb
5) Keine Betauung.
6) Max. relative Luftfeuchtigkeit wenn die Gerätetemperatur langsam um 40 °C
ansteigt oder die Gerätetemperatur plötzlich von -20 °C auf +30 °C ansteigt.
7) Max. 2 000 m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich.
Schnittstellen
Analog / Digital 25-polig Sub-D (luftgekühlt)
15-polig Sub-D (wassergekühlt)
RS 232 / RS 485 9-polig Sub-D
Profibus 8 9-polig Sub-D
Optionen Frontpanel 9 Aktiv, passiv, keines
Anschlussart Rückseite
8) Auf Anfrage verfügbar.
9) Für wassergekühlte Geräte.
Abmessungen (B x H x T)
Luftgekühlte Version 483 mm x 133 mm x 462 mm 10
Wassergekühlte Version 483 mm x 178 mm x 690 mm
Gewicht
Luftgekühlte Version 28 kg 11
Wassergekühlte Version 64 kg
10) Die Werte geben Minimalmaße an. Höhe und Tiefe abhängig von Ausführung.
11) Die Werte geben das Minimalgewicht an. Abhängig vom Gerät.
Schutzart
Luftgekühlte Version IP 20 (1 kW bis 60 kW)
Wassergekühlte Version IP 21
Kennzeichnung
Konformitätserklärung auf Anfrage

Luftgekühlte Version
Wassergekühlte Version
482 mm
bez osłony bez złaczy osłony złaczy
103
20
16
133 mm
103
20
MP2
16
MP2
545 mm
505 mm
465 mm
bez osłony złaczy
442 mm
483 mm 564 mm 440 mm
713 mm
103
20
16
117 mm
M

P2
Zentrale
HÜTTINGER Elektronik
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Bötzinger Straße 80
79111 Freiburg
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